Mesa de coordenadas linear METIS XYZT

motorizadade 2 eixoscom mancais aerostáticos

Esta plataforma é uma plataforma planar híbrida mecânico/ar do rolamento dedicada para pisar e fazer a varredura de aplicações. É uma plataforma de 6 machados que move-se em sentidos de X, de Y, de Z e de teta. Nivelamento dinâmico sobre o curso completo assim como a repetibilidade bidirecional é parâmetros chaves. Esta plataforma é usada atualmente dentro: - Aplicações controles de processos da bolacha tais como a dimensão crítica e a metrologia do filme fino. - Risco da bolacha - Recozimento térmico do laser da bolacha Pôde igualmente ser usado no back-end da linha máquinas da litografia (alinhadores da máscara) e em alguma aplicação de corte em cubos da bolacha. Esta plataforma caracteriza: - Nivelamento do movimento dado pelo rolamento de ar - Rotação ilimitada na teta - Integração dobro de Z: Curso grosseiro para carregar/que descarrega e curso fino para o adjustement do foco - Buit-no compensador da gravidade em Z (patente pendente) - A correção da guinada pode ser feita levemente deslocando os motores Y1 e Y2 - Pode mais ser integrado com um sistema ativo do isolamento controlado inteiramente por ETEL - Os cursos em X e em Y podem ser feitos mais por muito tempo com algumas limitações no desempenho Especificações principais: - Curso total: 320 milímetros para X12 XY milímetro para Z - Velocidade: 1,2 m/s para XY, 0,1 m/s para Z e 15,7 rad/s para T - Aceleração: 1,2 g para XY, 0,2 g para Z e 104,7 rad/s2 para T - Estabilidade da posição: ±25 nanômetro para XY, arcsec ±15 nanômetro para Z e ±0.2 para T - Repetibilidade bidirecional: µm ±0.4 para XY, µm ±0.3 para Z e arcsec ±2 para T