Eixo rotativo com acionamento direto DXR+

para eletrônicapara semicondutorcompacto

O DXR+ é um módulo rotativo da ETEL com um design compacto, massa leve, grande eixo oco e proporcionando o desempenho certo para aplicações de médio porte em semicondutores e eletrônicos. O DXR+ traz grandes melhorias em termos de rigidez que tem um impacto direto na largura de banda de controle do estágio XY que o suporta. O módulo DXR+ pode ser operado a partir de 48 VDC até 300 VDC de tensão de barramento. Ele pode ser acionado por um AccurET modular 48 ou 300, ou por um AccurET VHP para melhores requisitos de estabilidade de posição O módulo DXR+ fornece uma solução adequada para lidar com qualquer aplicação que necessite: - Suavidade do movimento - Tipo médio final de requisitos de precisão (normalmente em torno de 5 µm de runout) - Estabilidade de posição na faixa de 100 nm @ 150 mm de raio O uso deste módulo é adequado para, mas não limitado a: - controle do processo de wafer, corte em cubos de wafer - riscagem de wafer - recozimento a laser -fabrico de células solares - etc Especificações principais : - Repetibilidade bidirecional ±2 arcsec a ±3sigma - Precisão de posição: até ±30 arcsec (sem calibração) e até ±3 arcsec após a calibração - Velocidade até 400 rpm - Estabilidade de posição ±0,2 arcsec - Capacidades de estabilidade de alta velocidade