Sistema de posicionamento arquitetura empilhada VULCANO2

2-3 eixoslinearpara a indústria dos semicondutores

A VULCANO2 é uma arquitetura de eixos empilhados de pórtico baseada em rolamentos mecânicos acoplados a codificadores ópticos de alta qualidade. O uso de motores com núcleo de ferro de renome ETEL, juntamente com princípios de design inovadores, permite alcançar uma alta dinâmica com níveis de desempenho geométrico e de movimento muito melhores. Com foco em facilitar as aplicações de semicondutores, a plataforma continua a corresponder a todos os diversos mercados e necessidades que exigem soluções para uma maior dinâmica; na verdade, até mesmo a sua melhor pegada na classe se sobressai para maximizar a sua proposta de valor do Custo de Propriedade global. Os clientes, com o objetivo de alcançar maior rendimento, ciclos de trabalho ou atender cargas mais pesadas sem perda de repetibilidade ou precisão, podem adotar com confiança um VULCANO2 padrão ou uma solução personalizada derivada. A VULCANO2 representa também uma solução perfeita para todos os casos de utilização em que a dinâmica, os ciclos de funcionamento e as cargas úteis não são tão rigorosos, embora a precisão de posicionamento deva ser estabelecida durante muito tempo: fornecer várias horas de precisão de navegação a nível u já não é um sonho, mas uma realidade sólida a partir desta nova oferta da ETEL. O uso desta plataforma é adequado para, mas não limitado a: - Aplicações de Controle de Processo de Wafer, como Overlay Metrology, Critical Dimension e Thin Film Metrology - Back-end: processos de flip-chip feitos em grandes painéis/substratos Características: - Pegada compacta - Carga útil até 80 kg - Estabilidade da posição de nível do nanômetro - Alta dinâmica - Excelente repetibilidade bidireccional e estabilidade de posição - Compatibilidade com salas limpas ISO 2