Eixo linear de precisão TBS

com fuso de esferascom servomotorde alto desempenho

O eixo linear TBS da ETEL oferece precisão e desempenho inigualáveis, tornando-o a solução ideal para aplicações de alta precisão em diversos sectores. O TBS é um eixo linear de alta precisão com 1 grau de liberdade, que utiliza um sistema de acionamento indireto baseado em rolamentos mecânicos. Esta conceção proporciona uma exatidão e precisão excepcionais dentro da sua categoria. Controlado por um servomotor de alto desempenho e baixo atrito e com um esquema de controlo de feedback de codificador duplo, o eixo TBS garante um excelente desempenho. O eixo utiliza tecnologias avançadas de codificadores do Grupo HEIDENHAIN Corporate e apresenta caraterísticas mecânicas inigualáveis para macro e micro movimentos ao longo de todo o curso. As caraterísticas específicas do projeto, tais como o desacoplamento térmico das fontes de calor, a elevada rigidez e um batente rígido micrométrico, aumentam a estabilidade e a segurança do processo. O TBS é particularmente adequado para aplicações de semicondutores, incluindo o Controlo do Processo de Wafer, Metrologia de Sobreposição, Dimensão Crítica e Metrologia de Película Fina, bem como para a fotónica. Também satisfaz as exigências de outras indústrias que requerem elevada precisão, limpeza, estabilidade e exatidão. Caraterísticas Carga útil máxima: 45 kg Acionamento indireto - parafuso de esferas de alta precisão Feedback de codificador duplo Opções disponíveis, tais como batente micrométrico Eis as principais caraterísticas: O eixo atinge uma repetibilidade bidirecional de ±0,3 µm, uma linearidade de micromovimento de ±50 nm e uma estabilidade de posição de ±10 nm, assegurando um controlo de movimento preciso e consistente. Capacidade de carga útil Com uma carga útil máxima de 45 kg, proporciona versatilidade e fiabilidade para uma vasta gama de aplicações.