O sistema de ligação automatizada de wafer EVG540 é um bonder de produção automatizado de câmara única projetado para fabricação em linha piloto, bem como P&D para fabricação de alto volume em aplicações de embalagem em nível de wafer, 3D-interconnect e MEMS. Baseado em um projeto modular, o EVG540 fornece uma solução comprovada para a transição futura de processos de ligação de wafer de P&D para fabricação em larga escala em nossos sistemas de ligação de produção totalmente integrados.
Funcionalidades
Aglutinante monocâmara até 300 mm de tamanho de substrato
Compatível com SmartView® e MBA300
Manuseio automático de até quatro mandris de fixação
Em conformidade com altos padrões de segurança
Dados Técnicos
Tamanho máximo do aquecedor
300 mm
Câmara de carga
Robô de 2 eixos
Câmaras de ligação máx
2
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