Um monitor de concentração química baseado em fibras ópticas concebido para medir produtos químicos utilizados em processos de fabrico de semicondutores, tais como limpeza e gravação.
É possível obter medições de produtos químicos a alta temperatura essenciais para processos húmidos de ponta. Permite soluções rápidas, estáveis e que poupam espaço, levando à otimização e maior precisão da gestão de produtos químicos.
Medição estável de produtos químicos a alta temperatura
Devido a sistemas ópticos superiores e procedimentos algorítmicos, tornou-se possível obter medições estáveis de soluções químicas, mesmo sob as condições de alta temperatura (20-80 ℃), sem a necessidade de ajustes ou processamento adicional. Além disso, não requer que o operador arrefeça os produtos químicos.
Até seis tipos de produtos químicos (produtos químicos ou faixas) são suportados
É possível efetuar medições de até seis tipos de produtos químicos (produtos químicos ou gamas) com um único monitor. Os tipos de químicos ou gamas desejados podem ser especificados livremente para medição, permitindo uma vasta gama de necessidades de medição.
Medição estável de produtos químicos a alta temperatura
Devido a sistemas ópticos superiores e procedimentos algorítmicos, tornou-se possível obter medições estáveis de soluções químicas, mesmo sob condições de alta temperatura (20-80 ℃), sem a necessidade de ajustes ou processamento adicional. Além disso, não requer que o operador arrefeça os produtos químicos.
Até seis tipos de produtos químicos (produtos químicos ou faixas) são suportados
Medições de até seis tipos de produtos químicos (produtos químicos ou faixas) são possíveis com um único monitor.
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