Sistema de monitoramento químico CS-1000

de concentraçãode medição

O CS-1000 avança os processos de fabrico de semicondutores ao permitir a medição simultânea de três parâmetros em soluções químicas que contêm componentes de baixa concentração. A HORIBA Advanced Techno, Co., Ltd. (doravante designada por "HORIBA Advanced Techno") lançou o seu novo Sistema de Monitorização de Soluções Químicas CS-1000. A série CS de analisadores, que mede a concentração de produtos químicos utilizados nos processos de fabrico de semicondutores em tempo real, tem servido as necessidades da indústria durante quase 30 anos desde o seu lançamento em 1995. O CS-1000, um sistema autónomo com um desempenho melhorado, permite detetar produtos químicos específicos que estão presentes em soluções químicas em quantidades vestigiais (nível ppm*1) sem qualquer pré-tratamento, graças a um algoritmo único (patente pendente*2) que combina a análise de absorvância,*3 condutividade e pH. Ao permitir medições simultâneas de três parâmetros - concentração (até oito componentes químicos), condutividade e pH - com um ciclo de atualização tão curto como seis segundos,*4 o CS-1000 contribui para o avanço do controlo de qualidade. Uma vez que requer apenas cerca de quatro horas*5 de manutenção a cada seis meses, o CS-1000 também ajuda a reduzir o tempo de inatividade. Além disso, o CS-1000 suporta a medição simultânea de duas soluções químicas diferentes, contribuindo para o aumento da produtividade. Com a miniaturização dos semicondutores, os produtos químicos utilizados no seu fabrico tornaram-se cada vez mais diversificados, tais como os que contêm muitos componentes ou componentes vestigiais. Isto exige um controlo de qualidade rigoroso que abrange vários parâmetros