Perfeito para o controlo da concentração de lamas
É eficaz para manter a diluição da lama constante. A manutenção de um valor de condutividade adequado contribui para a estabilidade do processo de polimento de bolachas. Mesmo os líquidos de amostra altamente viscosos, como o CMP Slurry, podem ser medidos sem problemas porque utilizam uma estrutura de sensor que reduz o risco de o líquido de amostra aderir aos eléctrodos. Além disso, o sensor é feito de um material húmido com excelente resistência química, que cumpre os requisitos de limpeza dos processos de semicondutores. Para além do acima referido, também pode ser utilizado para introdução na fase de desenvolvimento do processo de semicondutores e controlo da condutividade de produtos químicos especiais.
Elevada precisão / Elevada estabilidade
Gama de medição: 0 a 2.000 μS/cm , 0 a 10.000 μS/cm
Repetibilidade : ± 0,5% F/S , ± 1,0% F/S
Sem contaminação por metais
Uma vez que é utilizado carbono especial para o material do eléctrodo, não há necessidade de se preocupar com a eluição de contaminação por metais.
Equipado com função de conversão de concentração
São possíveis dois tipos de conversão de concentração, introduzindo a relação entre a concentração química e a condutividade e as características de temperatura.
É especialmente adequado para o controlo da diluição de produtos químicos de baixa concentração.
Poupança de espaço
O grau de liberdade na disposição da instalação é melhorado através da redução do tamanho do nosso sensor de condutividade convencional.
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