Visão geral do produtoSoluções de reguladores e válvulas para gás de Ultra Alta Pureza (UHP) projetadas para fabs de semicondutores e linhas de distribuição de gás para fotovoltaica avançada. Projetadas para operação contínua em sala limpa e fluxos de gás com pureza de seis‑nove.
Visão centralVálvulas e reguladores UHP são componentes críticos na fabricação de semicondutores e na produção de células PV. Componentes de precisão de fornecedores chineses consolidados cumprem normas internacionais de limpeza de material, integridade de vazamento e baixa geração de partículas.
Especificações técnicas e ciência dos materiais- Metalurgia: forjado em aço inox 316L duplamente fundido VIM VAR para minimizar inclusões e maximizar resistência química.
- Topologia de superfície: caminhos molhados internos eletropolidos a Ra < 5 μin para reduzir aprisionamento de partículas e facilitar a purga.
- Vedação hermética: diafragmas metal‑a‑metal com integridade de vazamento por hélio < 1×10-9 atm·cc/s.
Benefícios estratégicos de mercado- Proteção do rendimento: isolamento total de gases tóxicos, corrosivos e pirofóricos (ex. silano, amônia) durante deposição e gravação.
- Integração de sistema: conexões padrão VCR face‑seal para compatibilidade com Valve Manifold Boxes (VMB), gabinetes de gás e automação.
- Eficiência de aquisição: opções de fornecimento direto para otimizar custos enquanto fornecem hardware certificado para sala limpa e operação 24/7.
Família de produtos — JR1000 SeriesJR1000 Series — regulador de pressão de estágio único para aplicações de baixo a médio fluxo.
Características- Material do corpo: SS 316L; opção 316L VIM VAR disponível.
- Vedação por diafragma metal‑a‑metal.
- Acabamento interno eletropolido atingindo Ra < 5 μin.
- Pequeno volume interno para minimizar retenção de gás.
- Pressão máxima de entrada até 3500 psig.
- Coeficientes de fluxo: Cv 0,09 e Cv 0,15.
- Capacidades de fluxo: padrão 30 SLPM; opção High Flow (HF) 120 SLPM.
- Montagem e embalagem em sala limpa; cada unidade testada com hélio antes do envio.
Destaques de dados técnicosDesenhos técnicos, diagramas dimensionais e curvas de fluxo estão disponíveis e detalham o layout mecânico, o desempenho e a matriz de pedidos da família JR1000. Dimensões em milímetros; consultar a ficha técnica para especificações completas.
Dados técnicos / Especificações- Série: JR1000 Series (regulador de pressão de estágio único).
- Material do corpo: aço inox 316L; opção 316L VIM VAR.
- Acabamento de superfícies molhadas: eletropolido, Ra < 5 μin.
- Vedação: diafragma metal‑a‑metal; integridade de vazamento com hélio < 1×10-9 atm·cc/s.
- Classificação de pressão de entrada: até 3500 psig.
- Coeficientes de fluxo: Cv = 0,09 e 0,15.
- Capacidades de fluxo: padrão 30 SLPM; opção HF 120 SLPM.
- Conexões: face‑seal VCR padrão para integração em VMB e gabinetes de gás.
- Aplicações: fabs de semicondutores, produção fotovoltaica avançada, laboratórios e sistemas de distribuição de gás de alta pureza.
- Testes: teste de vazamento com hélio em cada unidade; montagem e embalagem em sala limpa.