メタライゼーションスパッタリング式貯蔵マシン FLC

自動車用

概要
LEYBOLD OPTICS FLC seriesは、研究開発および量産向けに設計されたロールツーロール高真空スパッタ成膜システムです。モジュール式で最大6台の回転カソードを装備でき、金属／誘電体の多層スタックを一度の通過で成膜できる構成を持ち、コーティング幅は650 mm、1600 mm、2000 mmの機種を用意しています。

主な利点

• 処理区間間のガス分離（オプション）により、単一通過で金属/誘電体の多層積層を実現できます。
• 高い設定柔軟性：最大6台の回転カソード、複数の電源オプション、インサitu計測、プラズマ前処理、構成可能な巻取り/供給システムに対応します。
• ターゲット交換とプロセスレシピの変更により、ハードウェア改造を最小限に抑えた用途切替が可能で、R&Dや試作生産に適します。

主な特徴

• 多用途性：反応性/非反応性プロセスに対応するDC、DC単極パルス、DC双極パルス、MF電源をサポートします。
• 粒子管理とプロセス安定性：sputter-up配置のカソード、ターボ分子ポンプ、コールドトラップ、温度制御されたコーティングドラム（標準 -15〜+80 °C）により安定したプロセスが可能です。
• 保守性：主要コンポーネントへのアクセス性を考慮した設計で、清掃や保守作業が容易です。

対応基材と堆積材料

• 基材：PET、PEN、PI、アルミニウム、ステンレス、銅、フレキシブルガラス等。基材ロール径は最大約500 mmまで対応します。
• 堆積材料：金属（Ag、Al、Cu、Cr、NiCr、Ti 等）および誘電体/酸化物（AZO、ITO、SiO2、SiN、SnO2、Nb2O5、TiO2 等）。

用途

• ディスプレイやタッチパネル向けの透明導電性ITO膜。
• フレキシブルプリント配線板（FPCB）およびローラー型コンデンサ用フィルムの金属化。
• 低放射（low-e）ガラス、スマートガラス、建築・車載用の電気クロミックフィルム。
• リチウムイオン電池の性能向上やその他先端電子材料向けの機能膜。

その他の特徴 / 技術仕様

• 製品シリーズ：LEYBOLD OPTICS FLC series
• 機種 / コーティング幅：650 mm、1600 mm、2000 mm
• 代表的なコーティング幅（例：FLC 650）：最大650 mm
• 基材ロール最大径：最大約500 mm
• コーティングドラム温度範囲：標準 -15 °C〜+80 °C
• カソード：最大6台の回転カソード、sputter-up配置
• 対応電源：DC、DC単極パルス、DC双極パルス、MF
• 真空装置：ターボ分子ポンプ、コールドトラップ
• プロセスオプション：区間間ガス分離、プラズマ前処理、インサitu膜厚測定、クローズドループプロセス制御、構成可能な巻取りシステム