昇華炉 AZ series

管状電動

AZは、制御された温度プロファイル用の8ゾーンチューブ炉です。 これらのゾーンは、炉の加熱された長さに沿って温度プロファイルを生成するために使用することができる。 8つのゾーン、厚い断熱材、およびAZ炉全体にわたる加熱要素の非常に対称的な巻線により、±5℃以上の均一性が達成される。 個別に制御された8つのゾーンの主な利点は、炉内の均一な長さの延長です。 さらに、線形上昇、ピーク、その他のユーザー定義プロファイルに対して、温度プロファイルを正確に制御できます。 AZチューブ炉に適した1つのプロセスは、高温エンドゾーンで前駆物質を蒸発させ、冷却温度エンドゾーンで基材上に蒸気を昇華させるために炉内で温度勾配を確立することができるため、化学蒸着です。 すべてのゾーンは個別に制御され、熱電対で監視されます。 アプリケーション例 アニーリング、結晶成長、乾燥、蒸発、昇華化、合成 標準機能 FHA/FHC管炉と同様の構造 可変加熱プロファイルのための8ゾーン制御 加熱された長さに沿った温度の勾配、線形増加/減少など 拡張された均一な温度分布 短い加熱冷却速度 自動操作 品質管理のためのデータ記録 セットポイントの再送信