焼きなまし炉 AZ series

昇華乾燥管状

AZは、温度プロファイルを制御するための8ゾーン管状炉です。これらのゾーンは、炉の加熱された長さに沿って温度プロファイルを生成するために使用できます。 8つのゾーン、厚い断熱材、そしてAZ炉全体で対称性の高い発熱体の巻き方により、±5℃以下の均一性を実現しています。個別に制御される8つのゾーンの主な利点は、炉内の均一な長さを延長できることです。さらに、温度プロファイルは、直線的な上昇、ピーク、またはその他のユーザー定義のプロファイルを正確に制御することができます。 AZ管状炉に適したプロセスの1つに、化学気相成長法があります。これは、高温側のエンドゾーンで前駆体材料を蒸発させ、低温側のエンドゾーンで基板上に蒸気を昇華させるために、炉内に温度勾配を設けることができるからです。すべてのゾーンは個別に制御され、熱電対でモニターされます。 標準仕様 FHA/FHC管状炉と同様の構造 FHA / FHC tube furnaces 8ゾーンコントロールで暖房プロファイルを変更可能 Gradients, linear increase/decrease etc. of temperature along the heated length Extended uniform temperature distribution Short heating and cooling rates Automatic operation 品質管理用データ記録 Retransmission of setpoint オプション （注文時に御指定ください） マルチセグメントの温度プロファイル設定が可能な温調器やデーター計測器の選択が可能です。これらは、RS232・RS485・イーサーネットによる通信が可能です。詳細 独立型過熱防止機能（大事な試料をダメージから保護します。無人オペレーション時に便利） 作業チューブ径や材質が幅広く選択可能です。例えば、クオーツ、セラミックス、金属などの材質の作業チューブがあります。