回転ポジショニングステージ

圧電単軸

圧電気の回転式段階 動的構造および材料の提供は独特な位置の適用および環境に必要な回転式および線形piezo段階のための機能をカスタム設計する。 DSMのたわみのメカニズムの設計はバックラッシュおよびstiction自由な性能が重大であるmicropositioning、nanopositioning適用で使用される。 注文、multi-axis設計の代表的な例は0.5mmの線形旅行のためにa +0.25 2つの手動調節可能なたわみの段階に取付けられた程度の回転段階および+/- 2度の回転要求した(示されていない)。 回転式段階は渦流れの近さの変位センサーおよびDSM SA servoのアンプを使用してクローズド・ループ操作のために設計されていた。 アセンブリの総足跡はおよそ25 x 60のmmである。 実際のクローズド・ループ適用では、この段階は10 msec以内のフル・スケールの回転の10%のための望ましい移動そして長いす操作を達成した。