ヴルカーノ島XYZ3THのプラットホームはZ3THによって結合されるモジュールによって準備されるヴルカーノ島の標準的なX-Yより構成されている。モジュールこの4つの自由度は、および±0.1°上の焦点の調節荷を積み、荷を下す、ウエファーに、364° Θの回転、二重Z軸、粗い1、また先端および傾きの訂正のための良い1を提供する。
特徴
- 密集した足跡
- ナノメーターの位置の安定性
- 高い原動力:2.5 g、1.5 m/s
- 低い移動および演算時間
- 互換性があるISO1クリーン ルーム
- ±0.1°上の先端傾きの訂正
- 二重Zの統合
- Zの作り付けの重力の補正器
- 顕著なZの直線性
- 高められたZの反復性およびジッター
- 段階の平坦を訂正する能力
- チャックのレベルの作り付けの真空の供給
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