組合せモジュール配置システム Z3TH

XY軸回転式縦型

Z3TH 複合モジュールは、既存のXYプラットフォームの上に置くことができるモジュールの範囲を拡大しています。 4 自由度モジュールZ3THは、364° シータ回転、二重 Z 軸、ウエハのロードとアンロード用の粗いもの、フォーカス調整用の細かいもの、± 0.1° 以上のチップとチルト補正を提供します。 このZ3THモジュールは、ピエゾベースのZアクチュエータに代わる優れた代替品であり、オープンループのヒステリシスや非直線性を排除すると同時に、移動、再現性、および移動時の優れたトラッキング誤差を提供します。 Z3THモジュールは主にフロントエンドタイプのアプリケーション専用で、必要なアプリケーションに対応する適切なソリューションを提供します。 -プロセスツールと基板間のアライメント- 平坦度のマッピング -移動と沈降の改善 最初のアプリケーションはバックエンドに関連しています。 リソグラフィおよびウェーハプロセス制御。 特性 -364° シータ回転 -± 0.1° 以上の先端および傾斜補正により、水平化および移動およびセトリング改善 -チャックレベルへの真空フィードスルー -ダブルZ 積分：積載/アンロード用の粗移動、フォーカス調整のための細かい移動 -ISOクラス1クリーンルーム 互換性 -± 1 µmの低ラジアル軸振れおよびラジアル振れ