紫外線小型分光計 C16767MA-01

CMOS半導体産業用OEM

概要
C16767MA-01は紫外域（190 nm〜440 nm）に対応する超小型で高感度のミニ分光器ヘッドです。産業分野の監視や現場分析向けに、コンパクトで携帯可能な計測機器への組み込みを想定して設計されています。

主な特長

• フィンガーティップサイズ：20.1 mm × 12.5 mm × 10.1 mm
• 重量：5 g
• スペクトル応答範囲：190 nm〜440 nm
• スペクトル分解能（typ.）：3.2 nm、（max.）：5 nm
• 同期積分（電子シャッタ）対応
• 非冷却動作
• 波長変換係数は最終検査表に記載

技術 / 設計
C16767MA-01は、エッチングで形成したスリットを持つCMOSリニアイメージセンサと、ナノインプリントで形成した反射性の凹面回折格子を採用しています。イメージセンサはUV耐性が強化されており、センサ上に形成された迷光カットフィルタが回折による迷光の侵入を抑制し、UV帯域での信号忠実度を向上させます。

用途例

• 水質分析（有機化合物、BOD等）
• 大気中ガスの分析（例：NO、SO2）
• UV-LEDのモニタリング（UV-A、UV-B、UV-C）
• 半導体プロセス監視（プラズマ・プロセスガスの診断）

測定例（注意）
C16767MA-01を用いたデモモジュールでは、硝酸、亜硝酸、BOD、アントラセンなどの有機化合物の測定において、一部の分析で大型のベンチトップ分光光度計と良好な一致を示しています。詳細な試験条件および較正手順はアプリケーションノートを参照してください。

仕様 / 技術データ

• スペクトル応答範囲：190 nm〜440 nm
• スペクトル分解能（FWHM）（typ.）：3.2 nm
• スペクトル分解能（FWHM）（max.）：5 nm
• 冷却：非冷却
• 内蔵センサ：スリット付きCMOSリニアイメージセンサ
• 総画素数：288ピクセル
• 測定条件（典型）：Ta = 25 °C（特記無き場合）