紫外可視小型分光計 C16767MA

紫外線CMOS半導体産業用

概要
C16767MAは紫外域（190〜440 nm）に最適化された高感度で超小型の分光器ヘッドです。深紫外から近紫外までの測定をサポートし、コンパクトまたはモバイルの測定機器への組み込みを想定しています。

特長

• ポインタサイズ（指先サイズ）：20.1 × 12.5 × 10.1 mm
• 質量：5 g
• スペクトル応答範囲：190〜440 nm
• UV測定向けの高感度設計
• スペクトル分解能：最大 8 nm、標準 5.5 nm（FWHM）
• 同期積分（電子シャッター機能）対応
• モバイル測定機器への組み込みに適合
• 波長変換係数は最終検査表に記載

用途／利用例

• 水質分析（測定例：硝酸、亜硝酸、BOD）
• 大気分析（NO、SO2 等）
• UV‑LEDおよびUV帯域の監視：UV‑A、UV‑B、UV‑C
• 半導体プロセス監視（プラズマ、ガス等）

技術と構造
C16767MAシリーズは、エッチング技術で作製したスリット一体型のCMOSライン型イメージセンサーと、ナノインプリントリソグラフィーで製造した反射性の凹面回折格子を採用しています。イメージセンサーはUV耐性を強化しており、回折による迷光を抑制するために独自のオプト半導体プロセスでセンサー上に迷光低減フィルターを形成しています。

追加の技術情報
本モジュールは非冷却型で、スリット一体型のCMOSライン型イメージセンサーを使用します。総画素数：288。特記ない限り測定条件：Ta = 25 °C。

仕様／技術仕様

• スペクトル応答範囲：190〜440 nm
• スペクトル分解能（FWHM）（標準）：5.5 nm
• スペクトル分解能（FWHM）（最大）：8 nm
• 冷却：非冷却
• 内蔵センサー：スリット一体型CMOSライン型イメージセンサー
• 総画素数：288画素
• 測定条件：標準 Ta = 25 °C（特記ない限り）
• 寸法：20.1 × 12.5 × 10.1 mm
• 質量：5 g
• 同期積分（電子シャッター）対応