リニアナノ位置決めステージ NT...V

モーター式コンパクト高速

IKOナノリニアNTは、鋼製の可動テーブル部にマグネットと光学式リニアエンコーダ用スケール、鋼製のベッドに固定子コイル、リニアエンコーダ用ヘッドなどを配置した、機能美に優れたコンパクトなリニアモータテーブルです。 テーブルの案内部には、長期メンテナンスフリーを実現したCルーブリニアウェイLの採用により、メンテナンス工数の削減に貢献します。可動子には、高性能ネオジウム磁石を採用により、極めて小形でありながら最大推力36Nを発揮するので、高速・高応答な位置決めを可能にします。また、機械的接触部分は、リニアウェイのみなので高いクリーン度を実現します。 ナノリニアNTは、半導体・液晶関連製造装置やクリーン環境が要求される検査装置や組立装置などのコンパクトな位置決め機構として最適です。