光学式検査装置 FlashScan®

自動欠陥検出用電気産業用

レチクル空白欠陥検査装置 FlashScan® 211マスクブランクス欠陥検査装置は、光学およびEUVリソグラフィ用途のマスクブランクス欠陥要件に対応するため、マスクショップおよびブランクメーカーをサポートします。FlashScan 211は、その高感度と比類なき検査速度、自動欠陥処理機能により、様々なアプリケーションで結果を得るまでの時間を短縮します。 用途 マスクブランクス製造、マスクブランクス認定、レチクルプロセス制御、レチクルプロセス装置モニタリング