ウェハスピンコータ VTC-100PA

VTC-100PAは、直径100mmまでの小型基板を最大10000rpmでスピンコートすることができるCE認定の卓上型スピンコート装置です。10000rpmの高速回転が可能です。スピンヘッドのアクチュエーターには、精密DCサーボモーターを採用し、正確な速度・加速度制御を実現しています。基板はバキュームで保持することができます（より薄い対象物の場合）。本装置は、ユーザーフレンドリーなキーボードとLCDディスプレイを備え、最大12プログラム、6セグメントまでの各種パラメーターのプログラミングが可能です。スピン時間、スピン速度、加速度は、フロントパネルからプログラムできます。装置内のすべてのコンポーネントは、クリーンルームに対応するために腐食防止加工されています。 主な機能 500 ~ 10000 RPM の回転速度がプログラム可能 5mmから5 "までの基板に対応 耐腐食性のPP製チャンバー。 カバー上部にガス注入口があり、コーティング中に不活性ガスを注入することができます。 20mlのプラスチックシリンジが付属しています。 Arガスの使用が可能（真空ポンプはグローブボックスの外に設置する必要があります） 蓋にセーフティインターロックを内蔵 真空チャックと真空ポンプ チャンバーサイズ：直径150mm 2セットのPP耐腐食性真空チャックは、異なるサイズ（Φ44mm、Φ9mm）で、5mmから5インチ径の基板を保持できます（下の写真をご覧ください）。 右下の写真をクリックすると、9mm真空チャックによる5mmサンプルの保持方法のデモビデオがご覧いただけます。 120L/minの無給油真空ポンプが1台標準装備されています。 プログラマブルコントロール 持続時間：最大60秒 加速度100 - 2000 rpm / sec 調整可能 精度< 5% デジタルコントロールパネルは、12プログラムを格納することができ、各プログラムは、速度、加速度、およびスピン持続時間のためのプログラム可能な6セグメントを持っています（典型的なプログラムの設定を見るために右下の画像をクリックしてください）。