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- Z軸ナノ位置決めステージ
- Märzhäuser Wetzlar
Z軸ナノ位置決めステージ 00-55-550-0810トランスレーション圧電圧電
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特徴
- 方向
- Z軸, トランスレーション
- タイプ
- 圧電
- その他の特徴
- 制御機付
- ストローク
500 mm
(19.685 in)- 繰返し精度
0.05 µm
詳細
製品
Piezo Zステージ
品番
00-55-550-0810
主な特長
データシート
仕様 / 技術仕様
Piezo Zステージ
品番
00-55-550-0810
主な特長
- コントローラ EBD-060310 同梱
- ストローク：500 µm
- 解像度：5 nm / 31 nm
- 繰返し精度：50 nm
- Märzhäuser SCAN IM シリーズのほとんどのスキャニングステージと互換
- PiezoコントローラをTANGOコントローラのAUX I/Oに直接接続可能
- 最大500 µmのストロークでの動的なZ移動
- トリガ機能により高ダイナミックな走査を実現可能
データシート
- 00-55-550-0810_Piezo_Z-Tisch_500_µm_DE.pdf
- 00-55-550-0810_Piezo_Z-Stage_500_µm_EN.pdf
仕様 / 技術仕様
- 品番: 00-55-550-0810
- コントローラ: EBD-060310（同梱）
- ストローク: 500 µm
- 解像度: 5 nm / 31 nm
- 繰返し精度: 50 nm
- 互換性: Märzhäuser SCAN IM シリーズのほとんどのスキャニングステージと互換
- 接続: TANGOコントローラのAUX I/Oへの直接接続
- 動作: 最大500 µmまでの動的Z移動
- 機能: 高ダイナミック走査のためのトリガ機能
カタログ
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