- 動力・機械部品
- アクチュエータ･位置決め装置
- Z軸ナノ位置決めステージ
- Märzhäuser Wetzlar
Z軸ナノ位置決めステージ 00-55-600-0000圧電圧電単軸
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特徴
- 方向
- Z軸
- タイプ
- 圧電
- 軸の数
- 単軸
- その他の特徴
- 統合制御装置付き, 位置表示器付き
- ストローク
0.5 mm
(0.02 in)- 繰返し精度
0.005 mm
(0.0002 in)
詳細
製品名
主な特長
特性 / 技術仕様
- Piezo Z-Tisch
主な特長
- コントローラ WSB ZPiezo を含む
- ストローク：500 µm
- 分解能：1 nm
- 再現性：±5 nm
- Märzhäuser SCAN IM シリーズと互換
- Piezo コントローラを TANGO コントローラに AUX I/O 経由で直接接続可能
- ハンドホイールのディスプレイに位置表示、スタンドアロン運転が可能
- 最大 500 µm のストロークでの動的 Z 動作
- トリガー機能により高ダイナミックなスキャン動作が可能
特性 / 技術仕様
- 品番：00-55-600-0000
- モデル：Piezo Z-Tisch
- ストローク：500 µm
- 分解能：1 nm
- 再現性：±5 nm
- 内蔵コントローラ：WSB ZPiezo
- インターフェース：TANGO コントローラへの直接接続 (AUX I/O)
- 位置表示：ハンドホイールのディスプレイ上（スタンドアロン運転可能）
- 動作モード：動的 Z 動作および高ダイナミックなスキャンのためのトリガー機能
- 互換性：Märzhäuser SCAN IM シリーズと互換
カタログ
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