焦点距離 800 pm
コンパクト設計
共振周波数は最大100Hz
顕微鏡への取り付けが容易
クローズドループのステップ分解能 12 m
内蔵ストレインゲージフィードバックセンサー
MIPOS 800対物レンズポジショナーは、オープンループ動作で最大800 µm、クローズドループ動作で650 µmのナノポジショニングスキャン範囲を提供します。このポジショナーは、直径40mmまでの対物レンズに使用できます。
独自の平行四辺形設計により、光軸に影響を与えることなく高い平行移動が保証されます。MIPOS 800の正確な位置決め再現性は、内蔵されたストレインゲージ測定システムの使用により保証されます。アクチュエータの予圧を内蔵した設計は、高い共振周波数と高度な平行運動を提供します。
MIPOS 800のユニークな設計により、高速スキャニングアプリケーションを短い整定時間で正確に実現することができます。
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