インクリメンタルロータリエンコーダ TONiC™ UHV RESM20

光学式非接触式アナログ

TONiC UHV とは TONiC UHV は超高真空に対応したレニショーのコンパクトな非接触式エンコーダシステムで、優れたモーションコントロールを実現します。 最高速度は 10m/s で、Ti インターフェースと組み合わせた場合のリニアおよびロータリーシステムとしての最高分解能は 1nm です。TONiC システムは広い取付け公差を備えており、ボタン 1 個でキャリブレーションを行えるため、短時間で簡単に取り付けられます。TONiC の動的信号処理により、平均周期誤差±30nm 未満という優れた信号の安定性が確保されており、優れたモーションコントロール性能が得られます。 RESM20 リングとは RESM20 は、円周に 20µm のピッチで目盛りを直接刻んだステンレススチールリングで、IN-TRAC™ オプティカルリファレンスマークが組み込まれています。タイプとしては 2 種類あり、それぞれにさまざまなサイズ（Ø52mm～Ø550mm）があります。A セクションリングは非常に優れた取付け精度を備えています。また、テーパー固定方式を採用しているため、加工パーツの公差を厳しく設定する必要性がなく、偏心を排除できます。また、質量が軽く低イナーシャ設計の薄型 B セクションリングも用意しています。A セクションリングと B セクションリングは、いずれも内径が大きい中空構造であるため、超高真空アプリケーションでも柔軟に使用できます。さらに非接触式のため、従来の密閉式のエンコーダに見られるバックラッシュ、シャフトのよじれ、その他のメカニカルなヒステリシス誤差の影響を受けません。