インクリメンタルリニアエンコ—ダ TONiC™ UHV RKLC20-S

光学式非接触式アナログ

TONiC UHV とは TONiC UHV は、優れたモーションコントロールを実現する、超高真空対応の超コンパクト非接触式エンコーダシステムです。 TONiC の最高速度は 10m/s で、Ti インターフェースと組み合わせた場合のリニアおよびロータリーシステムとしての最高分解能は 1nm です。TONiC システムは広い取付け公差を備えており、ボタン 1 個でキャリブレーションを行えるため、短時間で簡単に取り付けられます。TONiC の動的信号処理により、平均周期誤差±30nm 未満という優れた信号の安定性が確保されており、優れたモーションコントロール性能が得られます。 RKLC20-S スケールとは RKLC20-S は、ユーザーが選択可能な IN-TRAC リファレンスマークを実装し、20µm ピッチのインクリメンタル目盛りが刻まれた薄型で細いステンレススチールテープスケールです。精度は±5µm/m で、最大長は 20m です（20m 超も要望に応じ対応可）。RKLC20-S は機材にマスタリングされるため、スケールの両端をしっかりと機材に固定することで測定性能を向上できます。