光学式検査機器 SAWR

カメラ型自動ビデオ

概要
ウェーハ検査システムから提供される情報に基づき、NG画像の詳細解析、解析データの保存、ホストPCとの通信を行う装置です。

用途
半導体デバイス／CMOSデバイスの製造工程における欠陥管理。

システム概要
本システムは欠陥画像を取得し、上流システムへデータをアップロードします。欠陥座標やメタデータはWafer Review SystemおよびWafer Inspection System（AVI）から提供されます。本システムはAVIからの欠陥情報も解析します。Seiwa SAWR Seriesは高精度かつ高速でアプリケーションを検査します。AVIの製造も対応可能です。

仕様

• 適用ウェーハサイズ：12インチ / 8インチ
• 作業状態：ウェーハダイシング
• ステージ位置決め精度：± 1 µm
• レビュー精度：3σ ≤ ± 20 µm（欠陥情報座標の位置決め精度）
• スループット：約2000秒（10枚処理） — 参照イメージングモード；欠陥位置に依存
• レビュー時間（AF移動〜撮像）：最短0.5秒 — 欠陥位置に依存

技術仕様

• 適用ウェーハサイズ：12インチ / 8インチ
• 作業状態：ウェーハダイシング
• ステージ位置決め精度：± 1 µm
• レビュー精度：3σ ≤ ± 20 µm
• スループット：約2000秒（10枚処理）
• 考慮対象欠陥数：1枚あたり100個
• レビュー時間（AF移動〜撮像）：最短0.5秒