ウェハー用マスク アライナ

自動全自動製造用

製品
LEDチップ製造向けの全自動ウェーハ露光装置（マスクアライナ）。Micro LEDおよび標準LEDウェーハに対応し、2〜4インチ兼用タイプと4〜6インチ兼用タイプの2機種を用意しています。

概要
異なるウェーハサイズ範囲をカバーするために、次の2タイプを提供します：

• 2〜4インチ兼用タイプ
• 4〜6インチ兼用タイプ

用途
研究開発および生産ラインでのMicro LEDおよびLEDの露光工程向けに設計されています。

仕様

• タクト能力（第1段階）：1時間あたり150枚以上
• タクト能力（第2段階）：1時間あたり130枚以上
• 位置合わせ精度：≤ 0.5 μm

技術的特徴

• ウェーハの自動搬送およびマスク位置合わせ
• 対応ウェーハサイズ：2〜4インチおよび4〜6インチ兼用
• 精密位置合わせと公表された生産能力に重点を置いた設計