MEMS振動センサー GKC378

装置監視用予防保守用振動計用

製品概要
GKC378 は単結晶シリコンMEMS容量型センシング技術に基づく三軸振動センサーです。DC結合の4–20 mA電流出力を備え、低ノイズな微小容量センサと内部の信号調整・補償回路により温度ドリフトやプロセス差の影響を低減し、良好な直線性と長期安定性を実現します。低消費電力設計、EMC/RFI シールド、また内蔵セルフテスト機能により現場での検証が可能です。用途例：産業機器の振動監視、構造健全性評価、モーションコントロール。

主な特長

• 三軸MEMS振動センサー（X、Y、Z軸）
• 産業用ループに適したDC結合 4–20 mA 電流出力
• 設定可能な測定レンジ：±2 g、±4 g、±8 g、±16 g（工場設定）
• 静的および低周波動特性測定に最適化された周波数応答（0–200 Hz）
• 現地検証用の内蔵セルフテスト機能
• IP67 保護等級および EMC/RFI シールドを統合

性能パラメータ

• 型番：GKC378
• 測定レンジ：±2 g ～ ±16 g（設定可能）
• 測定軸：X、Y、Z（3軸）
• 分解能：< 1 mg
• ゼロ点出力：12 mA（電流）
• フルスケール出力：4–20 mA（電流）
• 直線性：1%
• 電源オン/オフ再現性：< 2 mg
• 応答周波数：0–200 Hz（ローパスフィルタ内蔵）
• 帯域幅：200 Hz @ 3 dB
• ショック耐性：> 100 g @ 11 ms（半正弦波）
• ショック復旧時間：< 1 ms
• 動作温度：-40 ～ +85 °C
• 保管温度：-40 ～ +85 °C
• 電源電圧：9–36 V DC
• 最大消費電流：35–38 mA @ 12 V DC
• ノイズ密度：< 25 µg/√Hz (@ ±2 g)、< 60 µg/√Hz (@ ±16 g)
• 最大校正不確かさ：< 1 mg
• 電気的保護：EMCおよびRFIシールド
• 信頼性：MIL-HDBK-217 レベル2
• セルフテスト：±1 g @ 10 Hz
• 保護等級：IP67
• 寸法：L55 × W37 × H29 mm
• 質量：≤ 120 g（ケーブル除く）

仕様

• 出力信号：DC結合 4–20 mA
• 測定レンジ：±2 g、±4 g、±8 g、±16 g（設定可能）
• 軸：三軸（X、Y、Z）
• 分解能：< 1 mg
• 周波数応答 / 帯域幅：0–200 Hz（200 Hz @ 3 dB）
• 直線性：1%
• 電源電圧：9–36 V DC
• 消費電流：35–38 mA @ 12 V DC（最大）
• ノイズ密度：< 25 µg/√Hz (@ ±2 g)、< 60 µg/√Hz (@ ±16 g)
• セルフテスト：内蔵（±1 g @ 10 Hz）
• 保護等級：IP67
• 電気的保護：EMCおよびRFIシールド
• 寸法：L55 × W37 × H29 mm
• 質量：≤ 120 g（ケーブル除く）