MEMS振動センサー GKM392

静電容量式振動計用堅牢

製品紹介
GKM392はRUICOM Technologyが開発した三軸MEMSデジタル振動（加速度）センサーで、振動試験や衝撃試験向けに設計されています。選択可能なデジタル出力（RS232 / RS485 / TTL）を備え、アドレスコードによる複数センサーの直列接続により長距離のマルチポイント同期測定と中央集約データ収集が可能です。主要構成要素は単結晶シリコン容量型センサーチップ、低消費電力のASIC信号処理回路、補正データを格納するマイクロプロセッサ、統合温度センサーです。工場校正済みで、スケールファクタの長期安定性を確保しています。

主な特長

• 選択可能なデジタル出力：RS232 / RS485 / TTL
• 三軸振動測定：10–2000 Hz、測定レンジ ±2 g〜±40 g（選択可）
• 耐衝撃性能：100 g @ 11 ms（ハーフサイン）
• アドレス可能なデイジーチェーンによる同期マルチポイント取得
• シリアルプロトコルおよびMODBUS RTU対応
• 広範な電源入力：9–36 VDC、動作電流 <60 mA @ 12 VDC
• 保護等級 IP67、製品本体は航空用アルミ、磁気ベースはステンレス鋼

技術仕様（要約）

• 型式：GKM392
• 測定レンジ：±2 g；±4 g；±8 g；±10 g；±20 g；±40 g
• 測定軸：X、Y、Z（三軸）
• バイアス較正：<1 mg（全レンジ）
• 通電/電源断時の再現性：<2 mg（最大）
• バイアス温度係数：0.01 %/°C（代表値）
• 分解能/しきい値（@1 Hz）：<1 mg（最大）
• 非直線性：<1 % FS（最大）
• 帯域幅（3 dB）：500 Hz
• クロス軸感度：レンジ低域で1%、高域で最大2%
• 横方向振動感度比：レンジにより1%〜5%
• ノイズ密度：レンジ低域 21 μg/√Hz、レンジ高域 86.6 μg/√Hz
• 共振周波数：レンジ低域 2.4 kHz、レンジ高域 5.5 kHz
• 出力レート（68プロトコル）：5、10、25、50、100、200、500、1000 Hz
• 出力レート（MODBUS）：10、25、50 Hz
• 出力インターフェース：RS232 / TTL / RS485
• 通信プロトコル：シリアルプロトコル、MODBUS RTU
• 電源（VDD_VSS）：9–36 VDC
• 動作電流：<60 mA @ 12 VDC
• 保護等級：IP67
• 材質：本体 航空用アルミ、磁気ベース ステンレス鋼
• 重量：本体 ≤ 116 g；磁気ベース ≤ 50 g
• 外形寸法：本体 L36 × W32 × H24 mm；磁気ベース L36 × W32 × H8.1 mm
• 注意：指定レンジを超えての連続使用は避けてください。