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- Steinmeyer Mechatronik GmbH
空気軸受ポジショニングステージ LA340-EDLM seriesリニアリニアモータ駆動単軸
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特徴
- 方向
- リニア
- タイプ
- リニアモータ駆動
- 軸の数
- 単軸
- その他の特徴
- 高精度, 高速, 測定用, マイクロメーター, 空気軸受
- ストローク
500 mm, 1,000 mm, 1,500 mm, 2,000 mm
(19.685 in, 39.37 in, 59.055 in, 78.74 in)- 速度
790 mm/s, 1,210 mm/s, 1,630 mm/s, 2,060 mm/s
詳細
LA340リニアステージは幅340mmで、花崗岩のプレートをベースに、エアベアリングを使用して構築されました。これにより、完璧な平面度、ピッチとヨーの最小公差、滑らかな走行特性が求められるあらゆるアプリケーションに使用することができます。
- スキャニング用途や高精度な位置決めに最適
- 最大±0.3 µmまでの非常に高い繰返し精度
- 最大速度2060 mm/sでの高い動的特性
- 最大500 Nの負荷容量
- 最大 ± 0.8 µm の完璧な平面度
- 長寿命
- クリーンルーム仕様も可能
高い動的性能と完璧な平面性
この直線軸の駆動コンセプトは、ダイナミックリニアモーターとリニア測定システムに基づいており、高い速度と加速度を高精度と優れた繰返し精度で実現します。
応用分野
計測、検査、レーザー加工、フォトニクス、精密スキャン、半導体・フラットパネルディスプレイ製造における精密位置決め
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