縦型位置決めテーブル HDT255 series

モーター式精密重荷重用

- 真空：HV / UHV / EUVの全レンジで10-11 mbarまで対応 - 潤滑油：最大10-8 / ドライ：最大10-11mbar - 最高温度ベークアウト温度120°C - クリーンルームクラス4 ISO 14644-1（ご要望に応じてクラス1まで対応可能） - 磁気式も可能 オプションで設定可能 - アパーチャー付きまたはなし - さまざまな移動量 - 測定システム付き、または測定システムなしのオプション - クリーンルーム ISO 14644-1 に対応（ご要望に応じてクラス 1 まで対応可能） - 用途に合わせた材料選定と真空潤滑方式 - チャンバー内の設置状況に合わせた個別対応 - オプションでコントローラFMC400/450を搭載可能 高荷重用高精度リフティングステージ 開口部付きリフティングステージは、高真空、超高真空、極端な紫外線照射下など、過酷な条件下での高精度な垂直移動に適しています。リフトウェッジの原理により、全高が125mmと低いにもかかわらず、そのパラメータを実現しています。ステッピングモーターと精密ボールネジ（オプションでスライドネジ）の組み合わせにより、比較的高い負荷で最小のステップサイズを実現します。 応用分野 応用分野 超高真空・極端紫外線下での産業・研究用精密位置決め、ウェハー、プローブカード、プリント基板のアライメント・検査、表面分析、層厚測定、カメラアライメント、材料研究、材料分析、検査、真空中の顕微鏡、ビームライン、加速器、シンクロトロン