重荷重用ポジショニングステージ HT240 series

縦型モーター式高精度

- 真空：全レンジ HV / UHV / EUV 最大 10E-11 mbar - 潤滑油：最大10E-8 / ドライ：最大10E-11 mbar - 最高温度ベークアウト温度120°C - マグネット仕様も可能 - ISO 14644-1に準拠したクリーンルーム・クラス4（ご要望に応じてクラス1まで対応可能） オプションで設定可能。 - 用途に合わせた材料選択と真空潤滑方式 - チャンバー内の設置状況に合わせた個別対応 - コントローラFMC400/450をオプションで用意 最大40kgまでの高荷重に対応する高精度リフティングステージ 高真空、超高真空のような過酷な条件下での高精度な垂直移動に適したリフティングステージです。リフトウェッジの原理により、全高90mmという低さにもかかわらず、そのパラメータを実現しています。ステッピングモーターと精密ボールネジ（オプションでリードネジ）の組み合わせにより、比較的高い負荷で最小のステップサイズを実現します。 応用分野 超高真空・極端紫外線下における産業・研究用精密位置決め、ウェハーアライメント、ウェハー検査、カメラアライメント、材料研究、材料分析、検査、真空中の顕微鏡、ビームライン、加速器、シンクロトロン