CCD検査機器 TR7600 SIII Plus

X 線カメラ型AI

導入
TR7600 SIII Plus は、TRI の高スループット 3D SEMI AXI システムであり、半導体、先端パッケージング、自動車、航空宇宙、医療などの高信頼性分野向けに設計されています。マルチ解像度（2 µm～20 µm）に対応し、C4 バンプ、SiP、Cu ピラーなどの部品を高速かつ高精度に検査します。TR7600 SIII Plus は最大 800 x 350 mm、最大 12 kg の基板をサポートします。AI アルゴリズム（AI‑Void Detection、AI Repair Station を含む）で欠陥検出を強化しています。

特長

• OSAT のスループット要件に対応する高速 3D SEMI AXI
• 精密な欠陥検出のための AI 駆動検査アルゴリズム（AI‑Void Detection、AI Repair Station 含む）
• C4 バンプ（70 µm～140 µm）および Cu ピラーの検査対応
• 柔軟なマルチ解像度プラットフォーム：2 – 20 µm 生産対応
• 生産を止めずに行えるオンライン微調整
• 最大 800 x 350 mm、最大 12 kg の大判基板検査
• MES 接続によるスマートファクトリー対応
• 用途：先端パッケージング、自動車、航空宇宙、医療

イメージングシステム
カメラ：超高速ラインスキャン CCD カメラ
X 線源：60 - 110 kV
イメージ解像度：2 μm - 20 μm
検査方式：2D、2.5D、3D スライシング、平面 CT（オプション）

モーションテーブル＆制御
X 軸制御：高精度ボールねじ + AC サーボコントローラ
Y 軸制御：高精度ボールねじ + AC サーボコントローラ
Z 軸制御：高精度ボールねじ + AC サーボコントローラ

基板ハンドリング
最大 PCB サイズ：2 μm - 3 μm：245 x 100 mm
7 μm - 20 μm：800 x 350 mm
PCB 厚さ：0.6 - 7 mm（オプション：0.4 mm 記載）
最大 PCB 重量：12 kg（オプション構成では 0.4 mm 時に 3 kg を記載）
トップクリアランス：@20 μm：50 mm
@15 μm：45 mm
@10 μm：29 mm
@7 μm：19 mm
@3 μm：5 mm
@2 μm：3 mm
注：非標準解像度はキャリブレーションが必要です。
ボトムクリアランス：70 mm
エッジクリアランス：3 mm または 5 mm
コンベヤー高さ：880 – 920 mm（オプション：940 - 965 mm）— SMEMA 対応

検査機能
対応部品

• BGA
• バックドリル
• バレルフィル
• コンデンサ
• 抵抗
• チップ
• RF シールド下の部品
• WLCSP
• DIMM コネクタ
• フリップチップ
• グラウンドパッド
• ガルウィング
• ヒートシンク
• J‑リード
• LED チップ
• LGA
• パラディンコネクタ
• RNET
• SiP
• SMT コネクタ
• SOIC
• SOT
• サーマルパッド
• QFN
• QFP
• THT

検出欠陥

• 欠落
• 位置ずれ
• トゥームストーン
• ビルボード
• タンタルの極性
• 回転
• 異物
• はんだ不足/過剰
• ブリッジ
• オープン
• はんだボール
• ノンウェッティング
• ボイド
• リフテッドリード

寸法
WxDxH：1470 x 1971 x 1975 mm（注：シグナルタワーは含まず、シグナルタワー高さ：519 mm）
重量：3870 kg
電源：200 - 240 VAC 単相、50/60 Hz、4 kVA

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技術仕様

• モデル：TR7600 SIII Plus
• イメージ解像度：2 μm – 20 μm
• X 線源電圧：60 – 110 kV
• イメージング方式：2D、2.5D、3D スライシング；Planar CT はオプション
• カメラ：超高速ラインスキャン CCD カメラ
• モーション制御：X、Y、Z 軸に AC サーボコントローラを備えた高精度ボールねじ
• 最大 PCB サイズ（生産依存）：最大 800 x 350 mm（7–20 μm 時）；2–3 μm 時は 245 x 100 mm
• 最大 PCB 重量：12 kg
• PCB 厚さ範囲：0.6 – 7 mm（オプションで 0.4 mm 構成あり）
• トップクリアランス例：50 mm (@20 μm)、3 mm (@2 μm)
• ボトムクリアランス：70 mm
• エッジクリアランス：3 mm または 5 mm
• コンベヤー高さ：880 – 920 mm（オプション 940 – 965 mm）；SMEMA 対応
• WxDxH（機械）：1470 x 1971 x 1975 mm
• 機械重量：3870 kg
• 電力：200–240 VAC、単相、50/60 Hz、4 kVA
• AI 機能：AI‑Void Detection、AI Repair Station