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... 300mm ピンポイント 測定 半導体産業では、ますます微細なパターンが使用されるようになり、ますます高品質な先端材料が求められています。KoCoSオプティカル・メジャーメント社は、ウェーハの品質向上に対応するため、ウェーハエッジおよびノッチプロファイル 測定ツールWATOMを開発し、極めて精密なウェーハ形状 測定の新時代の到来を告げました。 特許取得済みのWATOM LSの 測定方法は、光検出センサーを利用し、ノッチ内のプロファイルを含むウェーハエッジのプロファイルをピンポイントで 測定します。CMOSカメラ ...
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... - 3D 測定と検査 LOTOS自動 測定 シス テムは、形状に関係なく、あらゆる 測定対象物の外側と内側の輪郭全体、または個々の領域を迅速かつ正確に 測定し、欠陥の有無を検査することができます。三次元非接触 測定は、μmレンジの精度を持つ 光学 測定センサーを使用して行われます。 その結果、 測定対象物が3Dモデルとして表示されます。強力で直感的なソフトウェアにより、 測定結果を極めて迅速に評価することができます。 操作用タッチスクリーンと高性能評価ユニットが統合された極めて堅牢なスタンドアロン・ シス テムにより、 ...
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... 150/200mm ウェーハエッジ 測定 - 信頼性の高い投影技術 WATOM CCDは、LS技術に代わるプロファイル投影技術を採用しており、特にノッチ 測定が不要な場合など、それほど要求の高くないプロファイル 測定に理想的なソリューションを提供します。CMOSカメラは、テレセントリック光源によって照らされたウェーハエッジのプロファイル画像をキャプチャします。 WATOMのモジュール設計は、個々のウェーハが手動でロードされる場合でも、自動マテリアルハンドリング シス テム（AMHS）が設置されている場合でも ...
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... 枚葉式エッジプロファイラ WATOM T 小さな設置面積と安 定した精度 WATOM Tは、自動化の必要のないアプリケーションに適したコンパクトで安価なプロファイラで、他のWATOM シス テムと同じ品質、プロセス信頼性、 測定精度を提供します。 WATOM Tは、迅速なサンプル 測定のために2つのウェーハサイズに対応できるように設計されています。 タッチスクリーンを装備し、オペレーター、専門家、メンテナンススタッフにも使いやすいツールです。 ...
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... ロトス LSi インライン 測定用に最適化された、非常に堅牢なスタンドアロン シス テム。 製造工程への統合に最適化された設計のため、100%インラインでの工程内検査に特に適しています。 測定テーブルの上方および周辺には広いフリースペースがあり、ロボットまたはガントリーによる極めて柔軟な試験片搭載が可能です。 LOTOS - 3D 測定・検査 LOTOS自動 測定 シス テムは、形状に関係なく、あらゆる 測定対象物の外側と内側の輪郭全体、または個々の領域を迅速かつ正確に 測定し、欠陥の有無を検査することができます ...
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... 費用対効果の高い標準 測定 シス テムです。 スタンドアロン型 シス テムは、高さ調節可能な操作タッチスクリーンと評価ユニットを内蔵しています。ラボや 測定室だけでなく、生産環境での使用にも適しています。 LOTOS - 3D 測定・検査 LOTOS自動 測定 シス テムは、形状に関係なく、あらゆる 測定対象物の外側と内側の輪郭全体、または個々の領域を迅速かつ正確に 測定し、欠陥の有無を検査することができます。三次元非接触 測定は、μm範囲の精度を持つ 光学 測定センサーを使用して行われます。 その結果、 測定対象物が3Dモデル ...
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... 実験室や 測定室、クリーンな製造環境での使用に最適なオープン 測定 ステーション。 精度、 測定速度、評価オプションの対応要件に合わせて、非常に柔軟に構成することができます。さらに、LOTOS O シス テムは非常に費用対効果が高く、経済的です。 LOTOS - 3D 測定・検査 LOTOS自動 測定 シス テムは、形状に関係なく、あらゆる 測定対象物の外側と内側の輪郭全体、または個々の領域を迅速かつ正確に 測定し、欠陥の有無を検査することができます。三次元非接触 測定は、μmレンジの精度を持つ 光学 測定センサーを使用 ...
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... 柔軟な品質管理と工程管理 OMCAT L55は、フレキシブルな標準 測定 シス テムで、製造環境だけでなく、実験室や 測定室での使用にも適しています。高さ調節可能な操作タッチスクリーンと統合された評価ユニットが特徴です。 設置面積が小さいため、この標準モジュールは非常に省スペースです。統合された評価ユニットにより、迅速かつ完全に自動化された 測定評価が保証されます。内部には、OMCAT ...
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... 製造工程の技術的準備に適しています。 この シス テムには、22インチの回転式モニター、マウス、キーボードが装備されています。パラメータと 測定結果は大型モニターにグラフィカルに表示され、包括的で詳細な分析が可能です。 納品範囲に含まれるOMCAT-Expertソフトウェアは、 測定結果を詳細に表示し、新製品開発時の細部検査など、ラボで必要とされるすべての 測定作業を実行するために使用できます。 汚れや不正アクセスからの最適な保護を保証するため、 シス テムはロック可能なシャッター付きのキャビネットに組み ...
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