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ストローク: 100, 400, 800 µm
繰返し精度: 50, 10 nm
... 比べ、格段に速い応答と長い寿命 - サブ nm 分解能での対物レンズの微細位置決め - 静電容量式センサーによる直接位置測定最高の直線性 - Ø 29 mmの大きなクリアアパーチャー 応用分野 - 3Dイメ ージ ング - スクリー ニング - 干渉計 - 測定技術 - オートフォーカスシ ステム - バイオテクノロジー - 半導体検査 PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命 PICMA®ピエゾアクチュエータはオールセラミック絶縁です。これにより、湿度やリーク電流の増加による故障からアクチュエータ ...
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ストローク: 100, 200 µm
... み合わせることができ、素早く交換することができます。すべてのサーボとリニアライゼー ションのパラメータは、メカニックのD-subコネクタのIDチップに保存されます。 デジタルコントローラのオートキャリブレー ション機能は、コントローラの 電源を入れるたびにこの データを使用します。 生産的なオペレ ーションを迅速に開始するための豊富なソフトウェア MATLAB、NI ...
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... - 4mradまでの光ビーム偏向 - プラットフォームとミラー間のCTEを調整するための様々な異なる素材 - より高い精度とダイナミ クスのためのパラレルキネマティ クス - サブミリ秒の応答時間 - クローズドループバー ジョンによる直線性の向上 - 優れた温度安定性 応用分野 - 画像処理/安定化 - 光トラッピ ング - レーザースキャ ニング/ビーム ステアリ ング（偏向角大 - ...
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ストローク: 25 mm
速度: 0.02 m/s
繰返し精度: 0.15, 0.2, 1 µm
... - 分解能0.1 µmの高精度リニアエンコーダ内蔵 - 最小イ ンクリメンタルモー ション0.2 µm - 循環 式ボールねじによる高速性と長寿命 イ ンクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定 非接触光学式リニアエンコーダは、最も高い精度でプラットフォームの位置を直接測定します。非直線性、機械的な遊び、弾性変形は測定に影響しません。 応用分野 光学アライメント精密オートメ ーション ...
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ストローク: 304, 102, 610, 407, 204 mm
速度: 300, 100 mm/s
繰返し精度: 5 µm
... リサーキュレーティ ングボールガイドは、高負荷容量と高動力設計です。モータの高分解能により、トラッキ ング性能の向上、トラッキ ングエラーの低減、セトリ ングタイムの短縮を実現しています。 同期 サーボモーター 位置決め精度が高く、広い回転速度範囲で高い過負荷耐量を発揮します。高トルクと低慣性は、ドライブの高いダイナミ クスを保証します。これらのモータの長寿命、高性能、および堅牢性により、産業オートメ ーション・アプリケ ーションで優れた結果を得ることができます。 ステッピ ングモーター 強力で低振動の2相 ステッピングモーター ...
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ストローク: 5, 25, 15 mm
速度: 1.5, 1 mm/s
繰返し精度: 0.25, 2 µm
... リミットスイッチ XYセットアップを直接取り付け可能 コンパクトなリニア ステ ージ、多目的に使用可能 ベルトドライブによる折りたたみ式でコンパクトなリニア ステ ージ。アダプタープレートなしでXYセットアップが可能。 特に真空環境での使用において、アウトガスを低減。 ガイドとスピンドルの潤滑には、特にアウトガスの少ない材料を使用しています。これにより、ベークアウト温度は80°Cまで可能です。PI ...
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ストローク: 32 mm
... - 幅わずか32mm、高さ8mm - 分解能0.75 µradのイ ンクリメンタルエンコーダによる直接位置測定 - 最小3 µradまでのイ ンクリメンタルモー ション - 360°以上の回転範囲 - 速度45°/秒 製品概要 ピエゾ慣性ドライブは、比較的高い保持力と実質的に無制限の移動範囲を持つ、省スペースで手頃な価格のピエゾベースのドライブです。イナーシャドライブの原理は、特殊なドライバ 電子機器から供給される修正された鋸歯状電圧で制御される単一の圧電アクチュエータに基づいています。アクチュエーター ...
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ストローク: 250, 170 mm
速度: 0.7, 0.6 m/s
繰返し精度: 0.1, 0.05, 0.15 µm
... 1nmのイ ンクリメンタルリニアモー ション 高精度位置エンコーダオプ ションイ ンクリメンタルおよびアブソリュート測定 コンパクトサイズ：80mm×25mm断面 高負荷容量と高い幾何学的性能を実現するクロスローラガイド アイアンコアおよびアイアンレス3相リニアモータを選択可能 リニアモータと超薄型設計のコンパクトな直線移動 ステ ージ 高精度リニア・モーター・ ステ ージのV-508ファミリーは、非常にコンパクトな薄型パッケ ージで高速性と高精度を提供します。これらのクローズドループ 電動ナノ位置決め ステージは、高性能 ...
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ストローク: 102 mm - 407 mm
速度: 0.3 m/s
繰返し精度: 1 µm
... 幅 166 mm 精密ボールねじ イ ンクリメンタルまたはアブソリュートリニアエンコーダ、各種分解能 精密リニアボールガイド、耐荷重450 N 側面のカバーストリップで異物から保護 要求の厳しい産業用アプリケ ーションに使用できる強力なリニア ステ ージ 高精度ボールねじ、高性能同期 サーボモーター、ヘビーデューティ再循環ボールベアリ ングガイド、高精度ロータリエンコーダおよびリニアエンコーダにより、高負荷下での継続的で信頼性の高い動作が可能です。オプ ションの保持ブレーキにより、Z軸として使用できます。ボール ...
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ストローク: 25, 5, 15 mm
速度: 1.5, 2, 1 mm/s
繰返し精度: 0.25, 0.15, 2 µm
... 折りたたみ式で非常にコンパクト ステッピ ングモーターおよびクローズドループDCモーター 非接触リファレンスおよびリミットスイッチ XYセットアップを直接取り付け可能 大量生産が可能 真空に適したバリエ ーション コンパクトなリニア ステ ージ。 ベルトドライブによる折りたたみ式でコンパクトなリニア ステ ージ。アダプタープレートなしでXYセットアップが可能。 駆動部 2相 ステッピ ングモーターまたはクローズドループDCギアモーター バックラッシュ補正付きねじスピンドルまたはボールねじ 位置測定 DC ...
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