Physik Instrumenteのリニアポジショニングステージ

繰返し精度: 1 µm
積載量: 4 kg

... モー ション・プラットフォームのサイズ 85 mm × 75 mm ロープロファイル 40 mm 移動範囲 25 mm 速度 390 mm/s 加速度10 m/s2 製品概要 エアベアリ ング付きPIglideミニチュア リニア ステ ージは、 リニアモータードライブ、プリロードエアベアリ ング、光学式 リニアエンコーダを内蔵しています。この ステ ージは小さな設置面積で非常に高い精度を提供します。非接触コンポーネントの組み合わせにより、摩擦のないモー ションを実現し、卓越した動的性能、ナノメートル精度の位置決め、 ...

ストローク: 5, 25, 15 mm
速度: 1.5, 1 mm/s
繰返し精度: 0.25, 2 µm

... リミットスイッチ XYセットアップを直接取り付け可能 コンパクトな リニア ステ ージ、多目的に使用可能 ベルトドライブによる折りたたみ式でコンパクトな リニア ステ ージ。アダプタープレートなしでXYセットアップが可能。 特に真空環境での使用において、アウトガスを低減。 ガイドとスピンドルの潤滑には、特 にアウトガスの少ない材料を使用しています。これにより、ベークアウト温度は80°Cまで可能です。PI ...

ストローク: 50 µm - 240 µm
繰返し精度: 5, 10 nm

... 大口径でハイダイナミ クスを実現 - パラレル・キネマティ クスによる高速応答と高い多軸精度 - ゼロプレイ、高精度のフレクシャーガイドシ ステム - PICMA®ピエゾアクチュエータによる卓越した寿命 - 66 mm × 66 mmのクリアアパーチャー - 静電容量式センサーによる最高の直線性 - 計測技術 - 干渉計 - フォトニ クス/集積光学系 - リソグラフィー - ...

ストローク: 100, 400, 800 µm
繰返し精度: 50, 10 nm

... 比べ、格段に速い応答と長い寿命 - サブ nm 分解能での対物レンズの微細位置決め - 静電容量式センサーによる直接位置測定最高の直線性 - Ø 29 mmの大きなクリアアパーチャー 応用分野 - 3Dイメ ージ ング - スクリー ニング - 干渉計 - 測定技術 - オートフォーカスシ ステム - バイオテクノロジー - 半導体検査 PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命 PICMA®ピエゾアクチュエータはオールセラミック絶縁です。これにより、湿度やリーク電流の増加による故障からアクチュエータ ...

ストローク: 100, 200 µm

... に応じて組み合わせることができ、素早く交換することができます。すべてのサ ーボと リニアライゼー ションのパラメータは、メカニックのD-subコネクタのIDチップに保存されます。デジタルコントローラのオートキャリブレー ション機能は、コントローラの電源を入れるたびにこの データを使用します。 生産的なオペレ ーションを迅速に開始するための豊富なソフトウェア MATLAB、NI ...

ストローク: 22 mm
速度: 0.2 m/s
繰返し精度: 0.2 µm

... - 10nmの高いセンサー分解能 - セルフロック式で静止時の発熱がない - 低ノイズ 精密級 リニア位置決め ステ ージ PILine® ステ ージは、高速精密位置決めを必要とするアプリケ ーションに特に適しています。スイッチを切ると、セルフロックドライブが ステ ージの位置を機械的に安定させます。そのため、エネルギー消費と発熱が大幅に削減されます。バッテリー駆動や熱に敏感な低デューティサイクルのアプリケ ーションでは、このような特性のメリットがあります。軸の位置はエンコーダで測定され、光学式リファレンススイッチ ...

ストローク: 26, 13 mm
速度: 8 mm/s
繰返し精度: 100, 200 nm

... その位置に留まります。動作周波数は最大20 kHzで、駆動部が直接ランナーに作用し、最大速度8 mm/sを達成します。8mm/sを達成する。 直接測定原理 リニア ステ ージには非接触測定光学式 リニアエンコーダとリファレンススイッチが装備されています。分解能1nm。 応用分野 マイクロアセンブリフォトニ クス光アライメント顕微鏡検査ビーム ライン装置半導体技術試験 ...

ストローク: 25 mm
速度: 0.02 m/s
繰返し精度: 0.15, 0.2, 1 µm

... - 分解能0.1 µmの高精度 リニアエンコーダ内蔵 - 最小イ ンクリメンタルモー ション0.2 µm - 循環式ボールねじによる高速性と長寿命 イ ンクリメンタル リニアエンコーダによる高精度位置測定 非接触光学式 リニアエンコーダは、最も高い精度でプラットフォームの位置を直接測定します。非直線性、機械的な遊び、弾性変形は測定に影響しません。 応用分野 光学アライメント精密オートメ ーション ...

ストローク: 304, 102, 610, 407, 204 mm
速度: 300, 100 mm/s
繰返し精度: 5 µm

... 610 mm 精密ボールねじ、最大負荷容量50 kg ステッピ ングモーターまたはサ ーボモーター 折りたたみ式ドライブトレインによるコンパクト設計 垂直取り付け用保持ブレーキ付きモデル 要求の厳しい産業用アプリケ ーションで使用できる強力な リニア ステ ージ 高精度ボールねじ、高性能 ステッピ ングモータまたは同期サ ーボモータ、ヘビーデューティ再循環ボールベアリ ング、高精度ロータリーエンコーダにより、高負荷下でも信頼性の高い 連続運転が可能です。オプ ションの保持ブレーキにより、Z軸として使用できます。ボールねじは ...

ストローク: 102 mm - 813 mm
速度: 2 m/s
繰返し精度: 0.5 µm

... N - イ ンクリメンタルまたはアブソリュート リニアエンコーダ - 精密循環式ボールベアリ ング、最大荷重450 N - 側面のカバーストリップで異物から保護 リファレンスクラス リニ アポ ジショナー V-417により、PIは産業用ソリュー ションのポートフォリオに リニアモーター付き高精度 リニア ステ ージを追加しました。V-417の設計は一貫して厳しい産業条件に対応し、高い剛性と高品質なコンポーネントの使用を特徴としています：高性能アイアンレス リニアモーター、ヘビーデューティ再循環ボールベアリ ングガイド、高精度 ...