SmarActの配置システム

繰返し精度: 50 nm
ストローク: 31, 6 mm

... 52モジュラー シス テムと完全に互換性があり、2台のCLS-52直線移動 ステージから構成されるXYプラットフォーム上に設置されます。底板は、25mmグリッドの標準光学ブレッドボードに直接取り付けることができます。回転移動量は、トッププレート表面のピボットポイントでの値です。 回転移動量の値は、トッププレート表面のピボット点での値です。 ポーズによっては、 シス テム全体の寸法が大きくなる場合があります。詳しくはダウンロードエリアのCADモデルをご覧ください。 繰り返し精度は、各 シス テムのトッププレート ...

繰返し精度: 50 nm
ストローク: 31, 6 mm

... TRIPOD 92-6DoFモーション シス テムは6自由度を持ち、SMARSLIDE高精度ピエゾ ステージを使用し、CLS-92モジュラー シス テムとも完全な互換性があります。 TRIPOD 92-6DoFの中心的なコンポーネントはTRIPOD 92-Coreパラレルキネマティックティルト ステージです。3つのタワーが放射状に 配置された設計により、Rx方向に31°、Ry方向に27°、Z方向に11mmの直線移動が可能です。TRIPOD ...

ストローク: 14, 200 mm

... 用途に対応するため、トッププレートのカスタマイズオプション（開口部、穴パターンなど）を用意しています。 回転移動量は、トッププレート表面を支点とした場合の値です。 ポーズの違いにより、 シス テム全体の寸法が大きくなる場合があります。詳しくは、ダウンロードエリアのCADモデルをご覧ください。 再現性は、各 シス テムのトッププレートから約20mmの高さで、全移動範囲と一度に1つの自由度について測定されています。短い移動範囲では値が良くなる場合があります。 ...

繰返し精度: 50 nm
ストローク: 11, 20 mm

... SMARPOD CLS-32は中型 シス テムで、交換可能なドライブユニットを装備しているため、高可用性アプリケーションに最適です。 SMARPOD CLS-32の主な特長は、交換可能なドライブユニット（EDU）であり、位置決め シス テムを完全に分解することなく、ピエゾドライブを簡単かつ迅速に交換することができます。 オプションとして、ベースプレートにはSMARPODの移動プラットフォームの近くにツール、センサー、その他のコンポーネントを設置するためのマウンティングポストを取り付けることができます。 ...

... で限られたスペースであっても、ペイロードは最高の精度で移動させる必要があります。 SmarActs社の極低温位置決め シス テムは、モジュール式で、高精度、カスタマイズ可能で、位置決めやスキャン作業中もサンプルを可能な限り低温に保つよう熱管理されています。 XYZ位置決め シス テムの中心的なコンポーネントはリニア ステージです。この例では、SLC-1720-CRを使用しています。3つの ステージは、ホルダーやアダプタープレートと簡単に組み合わせてコンパクトな多軸セットアップを形成することができ、通常は顧客の ...

... XYZポジショニング シス テムは、センサーヘッドを保持し、レーザービームをサンプル上にスキャンします。 XYZポジショニング シス テムは、干渉計のプローブビームの位置を決め、関心領域上でスキャンするために使用されます。位置決め シス テムは、コンパクトな保護筐体に収められた3台のSmarActクローズドループポジショナーを中心に構成されています。各ポジショナーの最大スキャン範囲は20mm、繰り返し精度は50nmです。センサーヘッドは、一番下のポジショナーに取り付けられています。XYZポジショナーは、直径 ...