STEINMEYERの精密配置システム

繰返し精度: 1 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 200 mm - 1,000 mm

... 高度にダイナミックなアプリケーションに対応するXYZガントリー カスタマイズ可能 - 高精度かつダイナミックなアプリケーションに最適 - 1300 x 800 mmの非常に広い移動範囲 - 高加速度・高速度と高精度の両立 このガントリーは、1300 x 800 mmの領域で、非常にダイナミックな動きを可能にします。カスタマイズされた加工ヘッドやZ軸のセンサーは、グラナイト上のキャリア上を素早く、スムーズに移動します。プロファイルされたレールガイドは、花崗岩に直接取り付けられており、サブミクロンの再現性の高い結果を得るために最適な走行特性を提供します。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.3 µm - 2.5 µm
積載量: 5 kg - 20 kg
ストローク: 100 mm - 720 mm

... カスタマイズ可能 - ウェハー/半導体の自動検査に最適 - 各2 x 720 x 720 x 100 mmの非常に大きな移動範囲 - 2つのプロセスを同時に統合することが可能 クリーンルーム用4軸で構成され、複数の対象物を同時に自動計測できる検査システムです。高いダイナミクスと最高の再現性を実現しています。片側1台の高解像度カメラまたはセンサーをサンプルに対して相対的に移動させ、形状の検査、測定、特別な品質特性の記録を行います。 仕様 - ...

繰返し精度: 0.005 µm - 4.4 µm
積載量: 5 kg - 25 kg
ストローク: 100 mm - 365 mm

... 8軸位置決めシステム / ゴニオメーター カスタマイズ可能 - 様々な角度から8軸の検査を自動化 - カメラ/センサー/照明を共通の中心点を中心に旋回させる同軸回転システム - ディスプレイの検査に最適 8軸の位置決めシステムにより、さまざまな形状のサンプルや部品の分析・検査が可能です。カメラ／センサーは、試料を挟んで傾けたり、高さを調整したりすることが可能です。また、サンプルキャリアを測定面に対して平行に傾けることで、サンプルの個体差を補正することが可能です。XY ...

繰返し精度: 0.5 µm - 2 µm
ストローク: 100 mm - 600 mm
速度: 25 mm/s - 200 mm/s

... モーター、クロスローラー（Z） - フィードバック：リニアスケール - モーションコントローラFMC-250/280、FMC-400/450、ACS、PLC統合 カスタマイズオプション - スタッキング可能なシステム設計 - 移動、最大 1 m の長さの組み合わせ、ケーブル配線、制御システムの適合 - 花崗岩またはアルミニウム製のベースプレート - ...

繰返し精度: 0.2 µm - 2.5 µm
積載量: 25 kg
ストローク: 200 mm - 700 mm

... 3D自動化用XYZガントリー・システム カスタマイズ可能 - 700 x 700 x 200 mmの大型移動により、自動化されたハイスループット・アプリケーションに最適 - 最大1000 mm/sの高速移動により、高ダイナミックで高速なサンプル処理が可能 - 繰り返し精度0.3 µmまでの高精度位置決め - 高い再現性と分解能を実現する優れた安定性 この3軸位置決めシステムは、様々なアプリケーションの生産・検査工程に柔軟に対応することができます。Z軸上のカスタマイズされた加工ヘッドまたは測定ヘッド ...

繰返し精度: 0.3 µm - 0.4 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 200 mm - 1,000 mm

... このXYZ位置決めシステムは、450 x 1000 x 1000 mmを超える大型で高さのあるサンプルの高精度測定に適しています。Z軸に特注の顕微鏡、カメラ、センサーを取り付け、XYZオーバーヘッド動作でサンプルを測定することができます。これにより、ナノメートル領域での高解像度イメージングが可能になるほか、2Dおよび3Dイメージング用の数多くの測定機能を備えている。 仕様 - ストローク700 ...

繰返し精度: 0.4 µm - 0.5 µm
ストローク: 100 mm - 700 mm
速度: 470 mm/s - 2,000 mm/s

... XYZ多軸ガントリーシステム カスタマイズ可能 - インライン品質管理、高速ピックアンドプレース、複合アプリケーションに最適 - クロスヘッドに自由に設定可能な3軸を装備し、あらゆるオーバーヘッドアプリケーションに対応 - 500 x 700 x 100 mmの移動量による高スループット、1000 mmまで拡張可能 - 0.4 µmまでの卓越した高い繰り返し精度 - ガントリー軸とクロスヘッド間の非カップリングにより、モーターエンコーダによる容易な制御と過決定を回避 このオーバーヘッドアプリケーション ...

繰返し精度: 0.7 µm - 1 µm
積載量: max 15.0 kg
ストローク: 200 mm - 1,300 mm

... 連続的に移動します。プロファイルレールガイドは花崗岩に直接取り付けられ、サブミクロンの再現性の高い結果を得るための最適な走行特性を提供します。ガントリー設計により、サイクルラインへの統合や、複数のポータルを並べることが容易になります。 仕様 - 標準システムLA250 - (XY) / PLT165 (Z) - ストローク： 800 x 1300 x 200 mm - 繰り返し精度：0.7 - ...

繰返し精度: 0.2 µm - 2 µm
積載量: 15 kg
ストローク: 10 mm - 600 mm

... 24時間365日稼動 このXYZガントリー位置決めシステムは、さまざまな計測アプリケーション用に2台のカスタムセンサー/顕微鏡を使用した高精度の両側検査プロセスを可能にします。1つ目のZ軸は固定トラバース上にあり、2つ目のセンサー/顕微鏡はアパーチャ下のZ軸に取り付けられています。エアベアリングサンプルホルダーは、Z軸上の2つのセンサー（それぞれ100mmの高さ調整が可能）により、開口部までXY方向にサンプルを移動させます。 仕様 - ...

繰返し精度: 2.5 µm - 6.5 µm
ストローク: 50 µm - 275 µm
速度: 30 mm/s - 50 mm/s

... による卓越した長寿命 この高剛性XYZガントリーは、特に大きなガラス試料の高精度原子間力顕微鏡（AFM）検査用に特別に設計されています。U字型の試料台の上には、カスタマイズされたAFM用にZ方向に可動するカンチレバーがあります。 仕様 - 標準システムPLT165-DLM (XY) / PMT160-DC (Z1, Z2) - ストローク600 x 600 x 100 x 100 mm - 繰り返し精度：0.2 ...