サーボモーターポジショニングステージ

ストローク: 50 mm - 1,250 mm
速度: 0 m/s - 0.4 m/s
積載量: 50,000 g - 80,000 g

... 概要
Fuyu Technology Co., Ltd. のFTH14XYZ-T（T型3軸モーションプラットフォーム）は、検査やイメージング用途向けに設計されたボールねじ式の電動リニアアクチュエータ式ステージです。ボールねじ駆動と防塵/半閉鎖型リニアガイドを組み合わせ、最大1250 mmまでの可変ストロークで試験・自動化システムへ組み込み可能です。

用途

• 産業用カメラを用いた電子部品・製品の検査
• 実験用レーダーイメージングおよびアンテナ試験
• 高精度なピック＆プレース、計測、光学検査

• シリーズ:

ストローク: 50 mm - 1,250 mm
速度: 0 m/s - 15,000 m/s
繰返し精度: 0.02 mm

... 簡単な説明： FUYU が開発したデュアルトラックリニアモジュール（本体幅14cm）は、滑らかな動作と高い安定性を実現します。用途として彫刻機の3軸ステージやガントリシステム、リニアロボットのXYZモーションシステムなど幅広い自動化装置に用いられます。

特長・用途：

• 高精度な繰り返し位置決めが可能（製品記載例：±0.01mm / モジュール例：±0.02mm）。
• 半密閉構造により粉塵や切粉の浸入を防止し、メンテナンス頻度を低減。
• 高負荷対応で低振動・低騒音設計。
• 主な用途：電子組立、液体充填装置、スポット溶接・溶接装置、回路基板・ウェハボックスの位置決め、物体搬送や位置決め作業、クランプや搬送などの自動化装置。

ストローク: 300 mm
速度: 0 m/s - 80 m/s
繰返し精度: 1 µm - 5 µm

... 説明
オープンフレーム構造の低背型XY回転ステージ。ウェハーのハンドリングや半導体製造プロセスにおける高精度な自動位置決め用途向けに設計されています。XY駆動は筐体側面に配置され、回転テーブル中央の大径貫通穴によりウェハーへ両側からの障害のないアクセスが可能です。開口径や可動量は用途に応じて構成可能です。

主な仕様

• XYステージ型式: XY-OF-300x300J
• 回転ステージ型式: ACR-335UT
• 開口径:

... RTHMシリーズの回転ステージは、マイクロステッピングやブラシレスサーボモータコントローラから駆動することで、アーク秒単位の分解能を実現しています。コンパクトな精密ベアリングの採用により、薄型設計を実現しています。ステージの回転キャリッジは、最大10kgまでの荷重を連続的に回転させることができ、ステージ内に直接光路やケーブルを通すことができるように、大きな開口部を設けています。ステージ本体は軽量アルマイト製で、光学テーブルや可動式リニアアクチュエータやXYアクチュエータに直接取り付けることができ、任意の向きに取り付けることができます。ステッパーモーターの回転運動をキャリッジの回転運動に伝達するために精密ウォームギアアセンブリを採用しています。小型であるため、レーザーキャビティ、ディスクテクスチャリング装置、ファイバー光学部品の製造エリア、半導体製造などの狭いスペースでの使用が可能です。 真空対応のロータリーステージRTHM-174とRTHM-190は、10-6 ...