FPA検査機器

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TR7600HPは、IGBT、MOSFET、SiCインバータを含むパワーモジュールの量産検査向けに設計された高出力3D CT AXIシステムです。高度な3D AXIアルゴリズムによりヒートシンクの影やノイズを除去し、鮮明な体積画像を生成します。AIを活用した検査ツール（AIボイド検出、AI支援プログラミング）により、安定した欠陥検出と迅速なプログラム調整が可能です。本機はSmart Factory Readyで、MES接続によるライン統合が容易です。

特長

• IGBT、パワーモジュール、インバータ検査向けの高出力3D

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TR7600F2D QLは、最大2100 x 510 mmの大型基板のインライン検査向けに設計された自動2D AXI（自動X線検査）システムです。5〜30 µmのマルチ解像度撮像に対応し、自動車分野でのバーコード読み取りやフィデューシャル検出用の専用2Dカメラを搭載しています。

特長

• 大型基板検査：最大2100 x 510 mm
• 柔軟なマルチ解像度：5 – 30 µm
• 生産を中断せずに行えるインライン微調整
• AIベースのアルゴリズムによる欠陥検出
• 自動車向けバーコード読み取り、フィデューシャル、ベアボードマーキング対応の2Dカメラ
• スマートファクトリー対応：MES接続
• 用途例：サーバーボード、LEDボード、車載ECUの検査

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2.5DインラインAXI TR7600F2D Plusは、新しい機械プラットフォームを採用し、サイクルタイムを短縮、前モデル比で約10%の性能向上を実現しています。最大5µmの高解像度イメージングにより、携帯機器などの民生用電子機器向けの全体検査に最適です。

特長

• 次世代の機械設計によりサイクルタイムを短縮
• 1台で複数解像度・複数出力に対応する柔軟な構成
• リアルタイム測定と保守性を向上させる新しいモーションコントローラ
• 調整が容易で較正頻度が低い改良型2Dカメラ
• 最大900

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TR7600F3D SIIは、5 µmまでの画像解像度に対応するインライン自動X線検査（AXI）システムです。LL SIIバリアントでは最大1000 x 660 mmまでの大型基板の検査が可能で、生産サイクルを維持しながら不良見逃しや誤検出を低減します。

主な特長

• 高精度イメージング：5 µm — 微細欠陥の検出に対応
• 高スループット：次世代機構により最大20 FOV/s
• インライン微調整：生産停止なしで複数サンプルの調整が可能
• 工場連携：MES統合対応のSmart