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... substrato é nivelado rápida e suavemente, para o alinhamento paralelo da foto- máscara e contato uniforme através do wafer durante a exposição de contato. O Alinhador de Máscaras Modelo ...
... O EVG®610 é um sistema de P&D compacto e multiuso que pode lidar com pequenos pedaços de substrato e wafers de até 200 mm. O EVG610 suporta uma variedade de processos litográficos padrão, tais como modos de exposição a vácuo, duro, suave ...
EV Group
... última geração para alinhamento de máscaras em uma área de área de cobertura minimizada de até 150 mm de wafer. Conhecido por sua versatilidade e confiabilidade, o EVG620 NT oferece tecnologia de alinhamento de máscara ...
EV Group
... geral
Este sistema de exposição de
wafers (Mask Aligner) integra um sistema óptico UV original otimizado para exposição de alta definição e um mecanismo de paralelismo de alta precisão entre fotomáscara e
wafer. ...
... Visão geral
- Sistema de exposição de wafers (mask aligner) de bancada, concebido para P&D e produção em pequenos lotes.
- Suporta três modos de controlo de folga: Hard contact, Soft contact e Proximity gap.
...
... Produto
Sistema de exposição de
wafers totalmente automático (mask aligner) para produção de chips LED. Compatível com Micro LED e
wafers LED padrão; disponível em duas versões combinadas para
wafers ...
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