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Forno tubular TubeStar
de recozimentode piróliseelétrico

Forno tubular - TubeStar - ECM Technologies - de recozimento / de pirólise / elétrico
Forno tubular - TubeStar - ECM Technologies - de recozimento / de pirólise / elétrico
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Características

Configuração
tubular
Função
de recozimento, de pirólise
Fonte de calor
elétrico
Atmosfera
a vácuo, com atmosfera controlada, sob gás inerte, de azoto, de hidrogênio
Outras características
automático, compacto, programável, horizontal, sob medida, de laboratório, industrial, para a indústria eletrônica, para circuitos impressos
Temperatura máxima

MÁX: 1.200 °C
(2.192 °F)

MÍN: 0 °C
(32 °F)

Descrição

A plataforma do forno TubeStar é um forno tubular compacto do tipo batch. Esta plataforma é dedicada a aplicações de difusão, oxidação e deposição e foi concebida para satisfazer as necessidades da engenharia de processos. A gama TubeStar é modular e flexível. De facto, pode ser constituída por 1 a 4 tubos independentes, com uma capacidade de 50 wafers por tubo. VANTAGENS E BENEFÍCIOS A plataforma de fornos TubeStar destaca-se no processamento de pequenas quantidades de wafers, mas também se adapta bem ao tratamento de grandes lotes graças à sua flexibilidade. Estes fornos provaram a sua eficiência durante a qualificação de alterações de processos, tais como em linhas de fabrico de PV. Uma das principais características deste forno tubular reside no tratamento térmico de precisão combinado com elevados níveis de flexibilidade de afinação. Isto permite um vasto espetro de aplicações. APLICAÇÕES POSSÍVEIS Difusão LPCVD Oxidação

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Tradução automática  (ver texto original em inglês)

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