Microscópio eletrônico de varredura por emissão de campo SU8600

para análises3Dde emissão de campo frio

O SU8600 traz uma nova era de microscópios electrónicos de varrimento a frio de ultra-alta resolução para a linha de longa data da Hitachi EM. Esta plataforma revolucionária CFE-SEM incorpora imagens multifacetadas, automatização, maior estabilidade do sistema, fluxos de trabalho eficientes para utilizadores de todos os níveis de experiência, e muito mais. UltraHighh-Resolução A fonte de emissão de campo frio de alto brilho da Hitachi fornece imagens de ultra-alta resolução mesmo em tensões ultra-baixas. Esquerda: partícula de Zeolite tipo RHO a baixo kV. A fim de revelar a estrutura de degraus finos na superfície, a imagem foi adquirida a 0,8 kV de tensão de aterragem. Isto permite que a estrutura muito fina dos degraus à superfície seja claramente visível (imagem à direita). Um sistema de detecção inteligente para imagens de baixa tensão de BSE Imagem da secção transversal do NAND 3D; Camada de óxido e camada de nitreto do condensador são facilmente distinguíveis na imagem devido à capacidade de detecção da BSE. Fast BSE Imaging : Novo Cristal Tipo Out-Column Crystal BSED (OCD) Ao utilizar o novo Out-Column Crystal Type BSED (OCD)*, o tempo de aquisição de imagem foi inferior a UM SEGUNDO, mas a camada inferior de interligação e a estrutura Fin FET da SRAM são claramente visíveis. Experiência melhorada do utilizador com automatização avançada A opção de software "EM Flow Creator" permite aos utilizadores configurar sequências de operação SEM repetíveis. Várias funções SEM podem ser montadas na janela do "EM Flow Creator" por um método de arrastar e largar e depois guardadas como receita para utilização posterior. Uma vez configurada uma receita, a recolha automática de dados sob as condições definidas pode ser realizada com elevada precisão e repetibilidade. Interface Flexível A configuração de monitor duplo suporta um espaço de trabalho flexível e altamente eficiente.