Válvula de diafragma LD

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Visão geral do produto
A válvula de diafragma Jewellok LD SERIES em aço inox 316L VIM‑VAR para ultra‑alta pureza fornece isolamento de fluidos para sistemas de distribuição de gases de semicondutores. Projetada para salas limpas, controla gases especiais, perigosos e corrosivos em caixas de coletor de válvulas, gabinetes de gás e conexões ponto de uso onde a contaminação deve ser eliminada.

Engenharia técnica principal

• Metalurgia VIM VAR: Aço 316L fundido em duplo vácuo e forjado para reduzir inclusões não metálicas, aumentar a resistência à corrosão e minimizar o risco de fragilização por hidrogénio.
• Caminhos molhados eletropolidos: Canais internos eletropolidos com acabamento ultra liso (< 5 μin Ra) para limitar a retenção de partículas e permitir purga rápida.
• Vedação hermética por diafragma: Vedação metal‑a‑metal com ligas de alta resistência para evitar elastómeros macios; taxa de fuga de hélio < 1×10-9 atm·cc/s.
• Volume morto zero: Arquitetura interna otimizada para prevenir fugas virtuais e estagnação de fluido, protegendo processos wafer submicrónicos de impurezas traço.

Protocolos de instalação e segurança
Válvulas embaladas em dupla bolsa para manuseio em sala limpa. Instalar apenas em ambientes certificados. Alinhar o corpo pela seta de fluxo e conectar usando acessórios VCR de vedação frontal com juntas metálicas. Realizar teste de vazamento com hélio e ciclo de purga com azoto antes de introduzir meios tóxicos ou pirofóricos. Agendar inspeções regulares para verificar o desempenho de atuação pneumática ou manual.

LD SERIES — Válvula de diafragma manual de baixa pressão
Características

• Corpo: Aço inox 316L VIM‑VAR adequado para aplicações de ultra‑alta pureza; rugosidade superficial molhada < 5 μin Ra; projecto minimiza áreas de aprisionamento, facilita a purga e maximiza a capacidade de fluxo.

Diafragma

• Hastelloy C‑22 ou superligas à base de cobalto (UNS R30003) para alta resistência e resistência à corrosão; optimizadas para longa vida útil em ciclos.

Assento

• Assento PCTFE completamente contido que resiste ao inchaço e à contaminação, reduz a geração de partículas e melhora o desempenho de vedação ao hélio; montado e embalado segundo procedimentos de limpeza rigorosos.
• Cada unidade é testada quanto a fugas de hélio antes do envio.

Dados técnicos
Desenhos de referência e diagramas do canal de fluxo fornecidos (dimensões em milímetros; sujeitos a alterações).

Forma do canal de fluxo
Geometria optimizada para reduzir volume morto e melhorar a eficiência de purga.

Informações de encomenda
Especificações padrão de encomenda e configurações de modelo disponíveis; consulte tabelas de encomenda ou documentação do produto para opções.

Especificações técnicas

• Brand: Jewellok
• Series / Model: LD SERIES
• Body material: 316L VIM‑VAR stainless steel (double vacuum melted)
• Wetted path finish: Electropolished, surface roughness under 5 micro inches Ra
• Diaphragm materials: Hastelloy C‑22 or cobalt‑based superalloys (UNS R30003)
• Seat material: Fully contained PCTFE
• Sealing: Metal‑to‑metal hermetic diaphragm (no soft elastomers)
• Helium leak rate: < 1×10-9 atm·cc/s (helium mass spectrometer test)
• Design: Zero dead volume, optimized internal architecture to prevent virtual leaks
• Packaging: Double‑bagged for cleanroom handling
• Applications: Semiconductor gas distribution systems, valve manifold boxes, gas cabinets, point‑of‑use tool hookups