Termorregulador sem visor Semistat S 1200

termoelétricode processo

Os sistemas de controlo da temperatura no ponto de utilização (POU) podem reduzir o consumo de energia até 90 % em comparação com os sistemas baseados em compressores. Os requisitos mínimos de espaço com a opção de instalação por baixo do chão no ponto de utilização minimizam a utilização de salas limpas. O controlo rápido e preciso dos perfis de temperatura do processo até ±0,1 °C melhora a homogeneidade de wafer para wafer. Caraterísticas Termóstato de processo termoelétrico com baixo consumo de energia Funcionamento silencioso e com baixo nível de vibração devido à tecnologia de arrefecimento sem refrigerante Não necessita de filtros ou componentes DI Com uma ligação para purga com ar limpo e seco (CDA) para evitar a condensação Utilização de fluidos perfurados Sistema arrefecido a água Tamanho geral compacto e peso reduzido Volume extremamente baixo de líquido de transferência de calor Em conformidade com as normas SEMI S2 e F47 Dados técnicos (de acordo com a norma DIN 12876) Estabilidade de temperatura 0.1 ± K Potência do aquecedor mín. 3 kW Volume mínimo de enchimento 1 L Volume máximo de enchimento 1.3 L Dimensões (LxPxA) 116 x 232 x 470 mm Peso do aparelho 15 kg Alimentação eléctrica Ligação ao PSC