Sistema de termorregulação Semistat S 4400

Visão geral do produto
O Semistat S 4400 é uma unidade de controlo de temperatura termoelétrica Point-of-Use concebida para aplicações de processo que exigem regulação rápida e precisa da temperatura. A sua pegada compacta e a opção de instalação sob o pavimento no ponto de utilização reduzem a área ocupada na sala limpa. O controlo preciso a ±0,1 K melhora a homogeneidade wafer-a-wafer e proporciona poupanças energéticas em comparação com sistemas com compressor.

Características

• Termostato de processo termoelétrico com baixo consumo de energia
• Funcionamento silencioso e com baixas vibrações graças à tecnologia de refrigeração sem fluido refrigerante
• Não são necessários filtros nem componentes DI
• Ligação para purga com ar limpo e seco (CDA) para evitar condensação
• Uso de fluidos perfluorados como fluido térmico
• Versão arrefecida a água
• Dimensões compactas e baixo peso
• Volume extremamente baixo de fluido de transferência de calor
• Compatível com SEMI S2 e F47

Intervalo de trabalho

• Temperatura mínima de trabalho: -20 °C
• Temperatura máxima de trabalho: 90 °C
• Estabilidade de temperatura: ±0,1 K

Capacidade de refrigeração (exemplos)
Temperatura — Capacidade de refrigeração 50 Hz — Capacidade de refrigeração 60 Hz
20 °C — 4,4 kW — 4,4 kW
10 °C — 3,5 kW — 3,5 kW
0 °C — 2,6 kW — 2,6 kW
-10 °C — 1,65 kW — 1,65 kW
-20 °C — 0,7 kW — 0,7 kW

Dados técnicos (segundo DIN 12876)

• Intervalo de temperatura de trabalho: -20 ... 90 °C
• Estabilidade de temperatura: ±0,1 K
• Potência mínima de aquecimento: 12 kW
• Volume mínimo de enchimento: 2,5 L
• Volume máximo de enchimento: 2,8 L
• Dimensões (L×P×A): 194 x 300 x 560 mm
• Peso: 38 kg
• Alimentação: ligação PSC