Espectrômetro de fluorescência WDA-3650

WDXRFde processoautomático

WDA-3650 O espectrómetro da fluorescência do raio X WDA-3650 para a avaliação do filme fino continua uma história dos 30 anos de Rigaku de analisadores da bolacha de XRF que espelhe a história do desenvolvimento do dispositivo do filme fino. Esta ferramenta a mais atrasada da metrologia de XRF contribui significativamente ao controle de processos da espessura de filme do metal, composição do filme, e a concentração do elemento com funções novas e baixo-ARRULHA projeto. Ferramenta de XRF para bolachas de 200mm Uma ferramenta versátil e segura para 200 milímetros e umas bolachas menores, o WDA-3650 incorporam nosso sistema da fase da amostra de X-Y-θ da marca registrada para resultados superiores em medidas difíceis, tais como filmes ferrodielectric. Os canais múltiplos permitem a medida simultânea de elementos múltiplos do interesse para a taxa de transferência alta. A definição de alta energia deste sistema comprimento de onda-dispersivo de XRF, comparada aos sistemas energia-dispersivos de XRF, é especialmente útil minimizar a sobreposição máxima quando os picos do elemento são fechados. Medida superior do boro (b) Para aplicações do boro, o canal disponível do Anúncio-boro fornece 5 vezes a maior sensibilidade do que modelos precedentes. A função de AutoCal e o stocker interno incorporado da bolacha, previamente somente disponíveis em ferramentas de 300mm, permitem a qualificação diária completamente automatizado da ferramenta e a calibração da intensidade. Projeto eficiente compacto O WDA-3650 é extremamente compacto com a unidade básica que exige menos de 1 m2 do espaço valioso da sala de limpeza, e não há nenhuma necessidade para o acesso lateral do serviço de manutenção. O consumo de potência foi reduzido mais de 20% comparado ao modelo precedente.