Espectrômetro de massa AZX400

XRFWDXRFpara pesquisa e desenvolvimento

A técnica Wavelength-Dispersive (WD) XRF permite a análise elementar (composição e espessura do filme) com alta resolução de energia. O Rigaku AZX 400 é um espectrômetro sequencial WDXRF especificamente projetado para lidar com amostras muito grandes e/ou pesadas. Aceitando amostras de até 400mm de diâmetro, 50mm de espessura e 30kg de massa, a AZX 400 é ideal para análise de alvos de pulverização catódica, discos magnéticos ou para metrologia de filme multicamadas em wafers de Si. O AZX 400 é um sistema de I&D ideal que oferece a mais ampla gama de flexibilidade analítica, cobrindo a gama de elementos desde Be até U com tamanhos de ponto até 0,5 mm de diâmetro para medições com resolução espacial (uniformidade). A câmera de vídeo e o sistema de iluminação opcionais permitem que o ponto de medição específico seja visualizado para aplicações de QC ou FA. O carregador automático de wafer opcional permite o manuseio de vários wafers a partir de uma cassete aberta de 300mm FOUP ou 200mm. Funcionalidades Análise de amostras grandes até 400 mm (diâmetro), 50 mm (espessura), 30 kg (massa) Sistema de adaptador de amostra flexível com insertos (sob encomenda) Ponto de medição 30 mm - 0,5 mm de diâmetro com seleção automática de 5 passos A capacidade de mapeamento permite que a uniformidade seja verificada Propósito geral: capaz de analisar Be to U por alta resolução, alta precisão WDXRF Ampla gama de composição (ppm a dezenas de por cento) e espessura (sub Å a mm) O software guia o usuário através da configuração de medição e análise Conformidade SEMI S2 e S8 disponíveis e marcação CE Pequena pegada: 50% de pegada do modelo anterior