Espectrômetro de fluorescência TXRF 3760

de fluorescência X com reflexão totalde processocompacto

TXRF 3760 A análise de TXRF pode calibrar a contaminação em todos os processos fabulosos, incluindo a limpeza, o litho, gravura em àgua forte, a incineração, os filmes, etc. O TXRF 3760 pode medir elementos do Na com U com um único-alvo, sistema do raio X de 3 feixes e um sistema nitrogênio-livre líquido do detector. O TXRF 3760 inclui o sistema patenteado da fase da amostra do XYθ de Rigaku, um sistema de transferência robótico da bolacha do em-vácuo, e o software fácil de usar novo das janelas. Toda a estes contribui a uma taxa de transferência mais alta, uma precisão e uma precisão mais alta, e operação rotineira fácil. O software opcional da lavagem TXRF permite o traço da distribuição do contaminador sobre a superfície da bolacha de identificar os “hot spot” que podem automaticamente ser remedidos em uma precisão mais alta. A capacidade opcional de ZEE-TXRF supera a exclusão histórica da borda de 15 milímetros de projetos originais de TXRF, permitindo medidas de ser feito com exclusão zero da borda. Características Facilidade de operação e de resultados rápidos da análise Aceita 200 milímetros e bolachas menores Design compacto, pegada Fonte de alta potência do girar-ânodo Vasta gama de elementos analíticos (Na~U) sensibilidade do Luz-elemento (para o Na, o magnésio, e o Al) Aplicação para descobrir o si e às carcaças do não-si A medida da importação coordena das ferramentas da inspeção do defeito para a análise da continuação