Espectrômetro de fluorescência TXRF 3800e

de fluorescência X com reflexão totalde processocompacto

TXRF 3800e A análise de TXRF pode calibrar a contaminação em todos os processos fabulosos, incluindo a limpeza, o litho, gravura em àgua forte, a incineração, os filmes, etc. O TXRF 3800e pode medir os elementos de S a U com um único-alvo, sistema do raio X do duplo-feixe e um sistema nitrogênio-livre líquido novo do detector. O TXRF 3800e inclui a patente de Rigaku durante o sistema da fase da amostra de X-Y-θ, um sistema de transferência robótico da bolacha do em-vácuo, e o software fácil de usar novo das janelas. Toda a estes contribui a uma taxa de transferência mais alta, uma precisão e uma precisão mais alta, e operação rotineira fácil. O software opcional da lavagem TXRF permite o traço da distribuição do contaminador sobre a superfície da bolacha de identificar “hot spot” — para zerar para fora a exclusão da borda. Todas estas características são abrigadas em um projeto novo, compacto, e eficiente. O acesso para todo o trabalho de manutenção é através dianteiro e traseiro dos painéis, o tão outro equipamento da sala de limpeza pode ser colocado ao lado do TXRF 3800e. Isto representa grandes economias no espaço caro da sala de limpeza. Características Facilidade de operação e de resultados rápidos da análise Aceita 200 milímetros e bolachas menores Baixo custo da posse Design compacto, pegada Fonte selada do tubo de raio X Vasta gama dos elementos analíticos (S~U) Aplicação para descobrir o si e às carcaças do não-si Capacidade zero da medida da exclusão da borda (ZEE-TXRF) A medida da importação coordena das ferramentas da inspeção do defeito para a análise da continuação