Sistema de nanoposicionamento multieixos SMARPOD 110.45

hexápodecom cinemática paralelasob alto vácuo

O SMARPOD 110.45 de tamanho médio é capaz de posicionar cargas úteis de até 5 N com 6 DoF. O SMARPOD 110.45 é um sistema de posicionamento em forma de hexapódios de tamanho médio. Devido ao seu maior alcance de viagem, é extremamente versátil. Opcionalmente, a placa base pode ser equipada com postes de montagem para ferramentas, componentes ou sensores, convertendo o sistema de posicionamento em um dispositivo central para micro montagem e qualquer outra aplicação que envolva alinhamento preciso. Tal como outros SmarAct SMARPOD's, a 110.45 também está disponível em versão de alto vácuo e ultra-alto vácuo ou feita de materiais totalmente não magnéticos. Mecânica Viagem [mm] - 20 (X); 20 (Y); 10 (Z) Viagens [ - 21 (Θx); 24 (Θy); 38 (Θz) Max. Força Normal [N] - 5 Max. Força Horizontal [N] - 2,5 Dimensões [mm] - Ø 110 Altura da plataforma acima do solo [mm] - 45 Peso [g] - 400 Fechado-Loop Tipos de sensores - S; SC Incremento mais pequeno [nm] - 1 Incremento mais pequeno [µrad] - 1 Repetibilidade de loop fechado, Curso completo MCS2 [nm] - < ± 200 Repetibilidade de loop fechado, 1 mm de curso MCS2 [nm] - < ± 10 Repetibilidade de loop fechado, Curso completo MCS2 [µrad] - < ± 15 Opções Opções de Vácuo - HV (1E-6 mbar); UHV / UHVT (1E-11 mbar) Opção Não-Magnética - Sim (-NM)